Der Ätzträger PSS (Patterned Sapphire Substrate) wird bei der Herstellung von LED-Geräten verwendet. Der PSS-Ätzträger dient als Substrat für das Wachstum eines dünnen Films aus Galliumnitrid (GaN), der die LED-Struktur bildet, und durchläuft anschließend den Ätzprozess. Daher ist ein Material mit hoher Hitze- und Korrosionsbeständigkeit erforderlich. Semicorex SiC-beschichteter PSS-Ätzträger, der speziell für diese anspruchsvollen Epitaxie-Geräteanwendungen entwickelt wurde. Der Träger ist im CVD-Verfahren mit Siliziumkarbid beschichtet und verfügt außerdem über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften.
Waferträger, die beim epixialen Wachstum und bei der Waferhandhabung verwendet werden, müssen hohen Temperaturen und aggressiver chemischer Reinigung standhalten. Semicorex SiC-beschichteter PSS-Ätzträger, der speziell für diese anspruchsvollen Epitaxie-Geräteanwendungen entwickelt wurde. Unsere Produkte haben einen guten Preisvorteil und decken viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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