Der Semicorex RTP/RTA SiC-Beschichtungsträger ist so konstruiert, dass er den härtesten Bedingungen der Abscheidungsumgebung standhält. Mit seiner hohen Hitze- und Korrosionsbeständigkeit ist dieses Produkt darauf ausgelegt, eine optimale Leistung für das epitaktische Wachstum zu bieten. Der mit SiC beschichtete Träger verfügt über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und gewährleistet so eine zuverlässige Leistung bei RTA, RTP oder aggressiver chemischer Reinigung.
WeiterlesenAnfrage absendenWenn Sie nach einem Hochleistungs-Graphit-Suszeptor für den Einsatz in Halbleiterfertigungsanwendungen suchen, ist der SiC-beschichtete Graphit-Zylinder-Suszeptor von Semicorex die ideale Wahl. Seine außergewöhnliche Wärmeleitfähigkeit und Wärmeverteilungseigenschaften machen es zur ersten Wahl für zuverlässige und konstante Leistung in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen.
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