Der mit Siliziumkarbid beschichtete Zylindersuszeptor von Semicorex ist ein hochwertiges Graphitprodukt, das mit hochreinem SiC beschichtet ist und eine außergewöhnliche Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bietet. Es wurde speziell für LPE-Anwendungen in der Halbleiterfertigungsindustrie entwickelt.
WeiterlesenAnfrage absendenDer Semicorex SiC-beschichtete EPI 3 1/4" Barrel Susceptor bietet hervorragende thermische Stabilität und Beständigkeit gegen chemische Angriffe, während das Graphitsubstrat hervorragende Wärmeübertragungseigenschaften bietet.
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