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RTA-SiC-Waferträger

Semicorex RTA SiC-Waferträger sind die unverzichtbaren Wafer-Transportwerkzeuge, die speziell für den schnellen thermischen Ausheilprozess in der Halbleiterfertigung entwickelt wurden. Semicorex RTA SiC-Waferträger sind die optimalen Lösungen für schnelle thermische Ausheilprozesse, die dazu beitragen können, die Ausbeute bei der Halbleiterherstellung zu verbessern und die Leistung von Halbleiterbauelementen zu verbessern.

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Quarzflüssigkeitsspeichertank

Der Semicorex-Quarz-Flüssigkeitsspeichertank ist ein hochreines Behälter, der zum Sammeln von Abfall- und Restflüssigkeiten in den Halbleiterfassreinigungs- und Beschichtungsverfahren ausgelegt ist. Die Auswahl von Semicorex sorgt nicht nur der überlegenen Quarzmaterialqualität, sondern auch der Präzisionsherstellung, die minimale Kontamination und maximale Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Reinraumumgebungen garantiert.*

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Kohlenstoffkristallisatortanks

Semikorex-Kohlenstoffkristallisatortanks sind hochfeste, hohe Temperaturgefäße aus Premium-Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundstoff. Wählen Sie Semicorex für überlegene Materialqualität, Präzisionstechnik und zuverlässige Leistung in extremen Umgebungen.*

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Wafer-Trägertablett

Semicorex bietet Keramik in Halbleiterqualität für Ihre OEM-Halbfabrikationswerkzeuge und Wafer-Handhabungskomponenten mit Schwerpunkt auf Siliziumkarbidschichten in der Halbleiterindustrie. Wir sind seit vielen Jahren Hersteller und Lieferant von Wafer Carrier Tray. Unser Wafer Carrier Tray hat einen guten Preisvorteil und deckt die meisten europäischen und amerikanischen Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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RTP/RTA SiC-Beschichtungsträger

Der Semicorex RTP/RTA SiC-Beschichtungsträger ist so konstruiert, dass er den härtesten Bedingungen der Abscheidungsumgebung standhält. Mit seiner hohen Hitze- und Korrosionsbeständigkeit ist dieses Produkt darauf ausgelegt, eine optimale Leistung für das epitaktische Wachstum zu bieten. Der mit SiC beschichtete Träger verfügt über eine hohe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende Wärmeverteilungseigenschaften und gewährleistet so eine zuverlässige Leistung bei RTA, RTP oder aggressiver chemischer Reinigung.

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RTP RTA SiC-beschichteter Träger

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von mit Siliziumkarbid beschichteten Graphitsuszeptoren in China. Semicorex-Graphitsuszeptor, der speziell für Epitaxiegeräte mit hoher Hitze- und Korrosionsbeständigkeit in China entwickelt wurde. Unser RTP RTA SiC-beschichteter Träger hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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