PBN -Heizung

Semicorex Pyrolytische Bornitrid-PBN-Heizung ist eine hochreinheitliche, leistungsstarke Heizkomponente, die für anspruchsvolle Anwendungen ausgelegt ist, bei denen ultra-blockierte, chemisch stabile und thermisch effiziente Materialien unerlässlich sind. PBN, das durch ein Prozess der chemischen Dampfabscheidung (CVD) hergestellt wurde, weist eine außergewöhnliche thermische Leitfähigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit und herausragende chemische Inertheit auf und ist damit die ideale Wahl für die Verarbeitung der Halbleiter, das Kristallwachstum und die Vakuumanwendungen.

Die PBN-Heizung ist ein Heizgerät, der hoch isolierendes PBN als Substrat verwendet und chemische Dampfablagerung (CVD) mit niedrigem Druck thermisch zersetzt, um leitfähige PG bei niedrigem Druck (unter 10 Tonnen) und hohe Temperatur zu beschichten. Die Hauptkomponenten dieser Verbundheizung sind pyrolytische Bornitrid (PBN) und pyrolytische Graphit (PG). Aufgrund seiner hervorragenden Korrosionsbeständigkeit und hohen Temperaturwiderstand wird es hauptsächlich für die Heizung des Halbleitersubstrats (in MBE, MOCVD, Sputterbeschichtung usw. verwendet) verwendet. Superkonferenzsubstraterwärmung; Probenerwärmung während der Probenanalyse; Elektronenmikroskop -Probenerwärmung; Metallheizung; Metallverdampfungsheizungsquelle usw.

PBN ist in korrosiven Gasen inert; hat eine hohe Reinheit (mehr als 99,99%); Wird nicht mit den meisten geschmolzenen Metallen nass oder reagiert (es hat die Eigenschaften einer Nicht-Stick-Pfanne, und das Metall kann 100%verwendet werden); hat einen guten hohen Temperaturwiderstand (die maximale Betriebstemperatur beträgt 2000 ℃); gute Dichte; Eine gute thermische Stoßwiderstand und andere hervorragende Eigenschaften machen es zu einem idealen Material für die Herstellung von PBN-PG-Verbundheizungen. PG kann in einer PBN -Heizung schnell auf 1600 ° C (in einer inerten Atmosphäre und unter Vakuum) erhitzt werden. Gleichzeitig weist die Heizfläche in Kombination mit der guten thermischen Leitfähigkeit von PBN eine gute Wärmegleichmäßigkeit auf. Mit der raschen Entwicklung verwandter Branchen hat die Nachfrage nach PBN-PG-Verbundheizungen ebenfalls rasch zugenommen.

PBN -Heizungen können in einer Vielzahl von Formen und Konfigurationen hergestellt werden, um die spezifischen Design- und Integrationsanforderungen zu erfüllen. Typische Konstruktionen umfassen planare Heizungen, tubuläre Heizungen und benutzerdefinierte Geometrien mit eingebetteten oder oberflächenmontierten Heizelementen. Die Heizelemente bestehen normalerweise aus pyrolytischem Graphit (PG) und in PBN eingekapselt, wodurch eine vollständig versiegelte, elektrisch isolierende und thermisch effiziente Struktur bereitgestellt wird.