Zündeinspritzung

Semicorex-Zündinjektor oder Quarzzündungsreaktor ist eine technische Komponente, mit der chemische Prozesse mit hoher Purity ermöglicht werden sollen, die eine Zündung oder Initiierung der Reaktion erfordern. Der Zündinjektor aus geschmolzenem Quarz kombiniert die besten Eigenschaften des fusionierten Quarzes (thermische Stabilität, chemischer Resistenz und Toleranz für strukturelle Ungenauigkeiten), um vorhersehbare Verwendung in Halbleiter- und Forschungsanwendungen zu erhalten. Die Verwendung des Zündinjektors ist bei den Prozessen, die die Zündung von Gasendämpfern oder reaktiven Verbindungen ermöglichen, wesentlich, ohne dass eine Kontamination möglich ist, um Sicherheit und Genauigkeit in extremen Anwendungen zu gewährleisten.

Quarz wurde für den Zündinjektor mit der Begründung ausgewählt, dass Quarz als Material das höchste Maß an Reinheit und Inertheit bietet. Metalle und konventionelle Keramik können von hoher Reinheit sein, sind jedoch nicht inerert und können Spurenverschmutzungen einführen. Daher ist es schwierig, empfindliche Prozesse durchzuführen, ohne die Möglichkeit einer Kontamination oder der Änderung analytischer Beobachtungen. Quarz wird allgemein als ideales Material angesehen, wenn thermischer Schock toleriert werden kann, insbesondere für Zündumgebungen, in denen schnelle Temperaturänderungen aufgrund unerwarteter Zündbedingungen zu erwarten sind. Ebenso wichtig; Quarz überlebt aggressive Chemikalien, um Störungen oder Schäden aufgrund von korrosiven Gasen oder Energie in der Reaktion in einer langfristigen Nutzungsumgebung zu verhindern.

Der Zündinjektor ist so konzipiert, dass er als lokalisierte Reaktionszone dient und eine saubere und kontrollierte Umgebung zur Erzeugung von Verbrennungen oder Plasma-basierten Reaktionen bietet. Dies ist nützlich im Semiconductor Manufacturing Sector, wobei Zündreaktoren möglicherweise Vorläufergase aktivieren, chemische Spezies zersetzen oder plasma-assistierte Reinigungsschritte initiieren. Die Sauberkeit der Reaktorwände garantiert, dass unerwünschte sekundäre Reaktionen zwischen der Kammer und den Reaktanten die Reaktion möglicherweise nicht negativ beeinflussen und somit eine genaue Kontrolle der chemischen Reaktion liefern können. Die optische Transparenz von Quarz bietet optische Überwachungsfähigkeiten in Echtzeit, um die vollständig unbeobachtete Reaktionszone zu beobachten, was bei experimentellen Arbeiten oder Produktion vorteilhaft ist.

Zusammen mit chemischen und thermischen Elementen wird der Zündinjektor aufgrund seiner Erleichterung in präzise hergestellten Objekten bevorzugt. Da die Komponente mit hoher Toleranz Abmessungen hergestellt wird, kann sie auch leicht direkt in Reaktoren passen und sich in vorhandene Systeme integrieren oder für die Anordnung für ein bestimmtes Werkzeug oder Werkzeuge geeignet sind. Die nicht-porösen glatten Oberflächen des inneren Quarzreaktors sind vorteilhaft bei der Reduzierung der Partikelbefestigung zur einfachen Reinigung, da die an den inneren Oberflächen der Kammer befestigten Materialien aufgrund der Wiederverwendbarkeit der Komponente nach dem Zyklus konsistent sind. Es hilft bei der Reduzierung der Kosten und der Verbesserung der Effizienz von Prozessen, die für den Betrieb mit hohem Volumen von hoher Volumen von großer Bedeutung sind.