Teflon -Kassetten

Semikorex-Teflon-Kassetten sind Hochleistungs-Waferträger, die speziell für den Einsatz in anspruchsvollen chemischen Umgebungen entwickelt wurden, in denen Reinheit, chemische Resistenz und thermische Stabilität wesentlich sind. Diese Kassetten, hergestellt aus hochreines Polytetrafluorethylen (PTFE), werden in der Herstellung von Halbleiter, Nassetching, chemischer Reinigung und anderen Anwendungen, bei denen die Exposition gegenüber hochgradig aggressiven Chemikalien ausgesetzt ist, häufig verwendet. Ihre nicht reaktive Natur macht sie ideal für den Umgang mit zarten Substraten wie Siliziumwaffeln, Glasschirmen und anderen Präzisionskomponenten, ohne Kontamination oder Partikel in den Prozess einzuführen.

In verschiedenen Prozessen der Semiconductor -Herstellung wie Lithographie, Ätzung und Ionenimplantation spielen Kassetten eine Rolle beim Transport und Übertragen von Wafern zwischen verschiedenen Geräten. Unterschiedliche Prozessgeräte haben möglicherweise unterschiedliche Schnittstellenanforderungen für Kassetten, um sicherzustellen, dass Waferträger genau empfangen und platziert werden können.

Aus der Sicht von Material und Konstruktion haben Materialien, die hitzebeständig sind, hervorragende mechanische Eigenschaften, dimensionale Stabilität und dauerhaft, antistatisch, niedrig übertroffen, niedrig ausfällt und recycelbar sind. Unterschiedliche Wafergrößen, Prozessknoten und Prozesse verwenden unterschiedliche Materialien. Die allgemeinen Materialien sind PFA, PTFE, PP, Peek, PES, PC, PBT, PEI, COP usw.

Teflonkassetten bieten in Umgebungen mit Hydrofluorsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure und anderen starken Korrosiven überlegene chemische Resistenz. Im Gegensatz zu herkömmlichen Materialien wie Polypropylen oder Edelstahl verschlechtert sich PTFE nicht; schwillt nicht an; Auslaut keine Substanzen in harten chemischen Bädern. Die Leistung wird daher über lange Zeiträume garantiert und daher die Zuverlässigkeit der Kassetten für Produktionslinien mit hohem Durchsatz und ultra-verarbeitete Umgebungen. Seine Robustheit bedeutet einen geringeren Wartungsbedarf und die Ersatzfrequenz, wodurch die langfristigen Betriebskosten gesenkt werden.

Teflon -Kassetten zeigen eine sehr hohe thermische Stabilität. Sie können den Temperaturen leicht von -200 ° C bis +260 ° C standhalten, was sowohl für kryogene als auch für Hochtemperaturprozesse anwendbar ist. Sogar in erhitzte Trocknungskammern oder kalte chemische Bäder, die Kassetten verlieren, verlieren nicht ihre strukturelle Festigkeit. Sie verziehen oder knacken nicht und stellen sicher, dass die Wafer während der Verarbeitung sicher gehalten werden. Diese Temperaturresilienz trägt erheblich zur Prozesskontrolle und zur Gleichmäßigkeit bei, die für die Herstellung von Halbleiter und MEMS von entscheidender Bedeutung sind.

Ein ebenso wichtiges Merkmal von Teflon-Kassetten ist die inerte, nicht stehende Oberfläche. PTFE erlaubt von Natur aus keine Adsorption von Partikeln und chemischen Resten, wodurch die Risiken der Kontamination in Reinraumumgebungen verringert werden. Dies muss mit einer glatten Oberflächenfinish gekoppelt werden, die es einfach abspülen und schnell trocknend und somit resorierere Ergebnisse und schnellere Zykluszeitenergebnisse erzielen. Bei der Verarbeitung der Halbleiter, bei der Defekte auch durch mikroskopische Verunreinigungen verursacht werden können, ist dieser Sauberkeit und chemische Trägheitsniveau obligatorisch.

Jede Kassette ist genau zu Toleranzen der engen Größe hergestellt und garantiert eine stetige Waferausrichtung und den Abstand, während sie in Flüssigkeit bewegt und platziert werden. Ihre leicht gestaltete Form hilft dem schnellen chemischen Durchfluss und Abfluss, wodurch die chemischen Wechselkurse beschleunigt und die Reinigung oder Ätzeinheitlichkeit auf der Waferoberfläche verbessert werden.  Die Kassetten sind in Standardgrößen für 4-Zoll-, 6-Zoll- und 8-Zoll-Wafer erhältlich, wobei die Anpassungsoptionen zur Verfügung stehen, um spezifische Substratabmessungen, Slot-Zählungen und Handhabungsanforderungen anzupassen.

Die Teflon -Kassetten wurden für die Kompatibilität mit automatisierten nassen Bänken und Roboter -Wafer -Handhabungssystemen entwickelt und sich leicht in die meisten Halbleiterproduktions -Setups integrieren. Ihre robusten Konstruktions- und Reinigungsqualität erfüllen die strengen Anforderungen von ISO-zertifizierten Umgebungen. Alle Kassetten unterziehen sich gründlich und sind in Ultra-Pure-Wasser vorgeordnet, um die Sauberkeitsstandards zu erfüllen, die für die Produktion der fortschrittlichen Mikroelektronik erforderlich sind. Konformitätszertifikate und vollständige materielle Rückverfolgbarkeit können bereitgestellt werden, um die Einhaltung von Qualitätssicherungsprotokollen sicherzustellen.