Waferträger

Die Waferträger von Semicorex wurden sorgfältig entwickelt, um den größtmöglichen Schutz der empfindlichen Siliziumwafer zu gewährleisten. Diese Materialien bestehen typischerweise aus hochwertigen Kunststoffen wie Polypropylen oder Polycarbonat und bieten eine Kombination aus Festigkeit, chemischer Beständigkeit und Stabilität. Die Wahl des Materials ist von entscheidender Bedeutung, da es nicht mit den Wafern interagieren darf, die sehr empfindlich gegenüber Verunreinigungen sind. Das Design von Waferträgern umfasst mehrere Schlitze, von denen jeder einen einzelnen Wafer sicher halten soll. Diese Schlitze sind präzise voneinander beabstandet, um zu verhindern, dass sich die Wafer berühren, wodurch das Risiko einer physischen Beschädigung und Kontamination minimiert wird. Die Waferträger sind für die Aufnahme von Wafern unterschiedlicher Größe mit einem Durchmesser von 100 mm bis 300 mm ausgelegt.

Waferträger erfüllen mehrere wichtige Funktionen im Halbleiterherstellungsprozess. Die Hauptfunktion von Waferträgern besteht darin, Wafer vor physischer Beschädigung, Kontamination und elektrostatischer Entladung (ESD) zu schützen. Die verwendeten Materialien und das Design der Träger sorgen dafür, dass die Wafer sicher gehalten und vor äußeren Verunreinigungen geschützt werden. Waferträger erleichtern den sicheren Transport von Wafern zwischen verschiedenen Phasen des Halbleiterherstellungsprozesses. Unabhängig davon, ob Wafer innerhalb eines Reinraums bewegt oder zwischen verschiedenen Einrichtungen transportiert werden, sorgen Waferträger für eine stabile und sichere Umgebung. Während verschiedener Produktionsphasen müssen Wafer möglicherweise vorübergehend gelagert werden. Waferträger stellen hierfür eine sichere und organisierte Methode dar und stellen sicher, dass die Wafer leicht zugänglich und vor Umwelteinflüssen geschützt sind. Die moderne Halbleiterfertigung ist hochgradig automatisiert. Waferträger sind so konzipiert, dass sie mit automatisierten Handhabungssystemen kompatibel sind und eine nahtlose Integration in den Produktionsprozess ermöglichen. Diese Kompatibilität trägt dazu bei, menschliche Eingriffe zu reduzieren und dadurch das Risiko einer Kontamination und Beschädigung zu minimieren.