Quarzdiffusionsröhren in Halbleiterqualität

Quarzbootewerden üblicherweise unter Hochtemperatur- und aggressiven chemischen Korrosionsbedingungen eingesetzt. Während des Betriebs werden Halbleiterscheiben in das Quarzschiffchen gelegt und in das Quarzdiffusionsrohr eingeführt. Wenn das Diffusionsrohr die erforderliche Temperatur (mehrere hundert bis mehrere tausend Grad Celsius) erreicht, werden Prozessgase (z. B. O₂, N₂, H₂, Ar) und Dotierstoffgase (z. B. POCl₃, BBr₃) durch Gasanschlüsse in das Quarzdiffusionsrohr eingeleitet, um die Oxidation, Diffusion und Ausheilung auf Halbleiterwafern durchzuführen. Darüber hinaus müssen einige Diffusionsprozesse in einer Niederdruckumgebung durchgeführt werden, um die Gleichmäßigkeit und Genauigkeit der Diffusion zu verbessern. 

In fortgeschrittenen Halbleiterfertigungsprozessen kann jeder geringfügige Fehler oder Mangel in diesen Prozessen zum Scheitern nachfolgender Prozesse führen. Daher ist die Qualität von Quarzdiffusionsrohren als entscheidender Bestandteil der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung und wirkt sich direkt auf die Ausbeute und Leistung von Halbleiterbauelementen aus.

Die Spezifikationen von Semicorex Quarz in Halbleiterqualität

Semicorex-Quarzdiffusionsrohre in Halbleiterqualität werden sorgfältig aus hochwertigen Materialien hergestelltQuarz in HalbleiterqualitätMaterial. Im Folgenden sind die spezifischen Parameter aufgeführt:

Die Parameter können je nach Kundenwunsch angepasst werden.

Die Leistung von Semicorex-Quarzdiffusionsröhren in Halbleiterqualität

Verlassen Sie sich auf unsere erfahrene Verarbeitungstechnologie und zuverlässige Materialauswahl, Semicorex in HalbleiterqualitätQuarzdiffusionsrohrezeigen überlegene Leistung unter den anspruchsvollen Betriebsbedingungen:

1. Hochtemperaturbeständigkeit

Semicorex-Quarzdiffusionsrohre in Halbleiterqualität bieten eine bemerkenswerte Hochtemperaturbeständigkeit, die es ihnen ermöglicht, in Hochtemperaturumgebungen bis zu 1200 °C stabil zu arbeiten, ohne dass es zu Verformungen oder Schäden kommt.

2. Wärmestabilitätsleistung

Semicorex-Quarzdiffusionsrohre in Halbleiterqualität verfügen über einen außergewöhnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten und sind in der Lage, thermischen Belastungen beim schnellen Erhitzen oder Abkühlen standzuhalten, ohne leicht zu reißen oder sich zu verformen.

3. Chemikalienbeständigkeit

Semicorex-Quarzdiffusionsrohre in Halbleiterqualität bieten eine hervorragende chemische Inertheit in Umgebungen mit hohen Temperaturen und rauer Korrosion. Diese Leistung verhindert weitgehend, dass die durch die Reaktion mit Prozessgasen entstehenden Verunreinigungen die Waferqualität beeinträchtigen.