Quarz-Diffusionsrohr

Einer der Hauptvorteile des Quarzdiffusionsrohrs ist die Fähigkeit, eine Kontamination der Ofenatmosphäre während der Waferproduktion zu verhindern. Verunreinigungen wie Natrium, die natürlicherweise im Quarzsand vorkommen können, der zur Herstellung von Quarzglas verwendet wird, können die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen erheblich beeinträchtigen. Semicorex-Quarzdiffusionsröhren werden mit einem Silikatgehalt von 99,998 % hergestellt, was eine außergewöhnliche Reinheit gewährleistet und das Kontaminationsrisiko minimiert. Dieser hohe Reinheitsgrad ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Integrität des Wafer-Herstellungsprozesses und die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.

Die thermischen Eigenschaften des Quarzdiffusionsrohrs sind bei der Halbleiterherstellung gleichermaßen wichtig. Unsere Quarzdiffusionsröhren halten Temperaturen von bis zu 1250 °C stand und eignen sich daher für die intensiven thermischen Bedingungen bei thermischen Oxidations- und Glühprozessen. Es handelt sich um eine thermische Oxidation das Wachstum einer Siliziumdioxidschicht auf der Oberfläche von Siliziumwafern, die als Isolator dient und für die ordnungsgemäße Funktion von Halbleiterbauelementen unerlässlich ist. Die hohe thermische Beständigkeit des Semicorex-Quarzdiffusionsrohrs stellt sicher, dass der Oxidationsprozess gleichmäßig und ohne Beeinträchtigung durch das Rohrmaterial abläuft. Diese Einheitlichkeit ist entscheidend für die Erzielung einer konsistenten und zuverlässigen Leistung der endgültigen Halbleiterbauelemente.

Beim Tempern, einem weiteren kritischen Prozess bei der Herstellung von Halbleiterwafern, werden Wafer erhitzt und kontrolliert abgekühlt, um ihre physikalischen und chemischen Eigenschaften zu verändern. Ziel des Prozesses ist es, die Kristallstruktur des Siliziums zu verbessern, Dotierstoffe zu aktivieren und Defekte zu reduzieren. Das Semicorex-Quarzdiffusionsrohr bietet die für ein effektives Glühen erforderliche Stabilität und Wärmebeständigkeit und stellt sicher, dass Wafer gleichmäßig behandelt werden und die gewünschten Materialeigenschaften erreichen.

Zusätzlich zur hohen thermischen Beständigkeit weist das Semicorex-Quarzdiffusionsrohr eine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber thermischen Schocks auf. Bei Halbleiterfertigungsprozessen kommt es häufig zu schnellen Temperaturänderungen, die einen Thermoschock auslösen und möglicherweise Materialien beschädigen können, die für solche Bedingungen nicht ausgelegt sind. Die hohe Thermoschockbeständigkeit des Quarzdiffusionsrohrs stellt sicher, dass es die bei der Waferherstellung typischen schnellen Aufheiz- und Abkühlzyklen bewältigen kann. Diese Haltbarkeit trägt dazu bei, die Integrität des Quarzdiffusionsrohrs aufrechtzuerhalten und gewährleistet so deren Langlebigkeit und Zuverlässigkeit in der Produktionsumgebung.

UV-Transparenz ist ein weiterer wesentlicher Vorteil des Semicorex-Quarzdiffusionsrohrs. Bei Prozessen, bei denen UV-Licht zu Inspektions- oder Aktivierungszwecken eingesetzt wird, ermöglicht die hervorragende UV-Transparenz unserer Quarzrohre eine bessere Prozesskontrolle und -überwachung. Diese Transparenz stellt sicher, dass Wafer präzise und konsistent behandelt werden, was für die Erzielung der gewünschten elektrischen Eigenschaften in den endgültigen Halbleiterbauelementen unerlässlich ist. Die Fähigkeit, den Prozess präzise zu überwachen und zu steuern, verbessert die Gesamtqualität und Zuverlässigkeit der hergestellten Halbleiterbauelemente.

Semicorex ist sich bewusst, dass unterschiedliche Halbleiterherstellungsprozesse einzigartige Anforderungen haben. Um diesen vielfältigen Anforderungen gerecht zu werden, bieten wir maßgeschneiderte Quarzdiffusionsrohre an, die auf bestimmte Endbenutzeranwendungen zugeschnitten sind. Unsere kundenspezifischen Designs können ein- oder doppelwandige Rohre mit oder ohne angeschlossene Rohrleitungen und verschiedene Flanschkonfigurationen umfassen. Diese Flexibilität ermöglicht es uns, Lösungen anzubieten, die genau auf die Anforderungen der Fertigungsprozesse unserer Kunden abgestimmt sind. Unser Engagement für kundenspezifische Anpassungen stellt sicher, dass wir auf die spezifischen Herausforderungen und Anforderungen jeder Anwendung eingehen und das Quarzdiffusionsrohr liefern können, das die Effizienz und Zuverlässigkeit der Halbleiterfertigung steigert.

Ein weiterer Vorteil des Semicorex-Quarzdiffusionsrohrs ist die Möglichkeit, mit einem breiten Spektrum an Rohrdurchmessern zu arbeiten. Wir können Quarzrohre mit Durchmessern bis zu 900 mm und etwas größeren Flanschen herstellen. Dieser Größenbereich stellt sicher, dass wir für jeden Halbleiterherstellungsprozess das richtige Quarzrohr anbieten können, unabhängig davon, ob es sich um kleine Forschungs- und Entwicklungsarbeiten oder um die Produktion im großen Maßstab handelt. Unsere Fähigkeit, verschiedene Größen zu bedienen, stellt sicher, dass wir die spezifischen Bedürfnisse unserer Kunden erfüllen und Lösungen anbieten können, die ihre Herstellungsprozesse verbessern.