Quarztank für die Nassverarbeitung

Der aus Quarz in Halbleiterqualität gefertigte Quarztank für die Nassverarbeitung bietet außergewöhnliche Haltbarkeit und Reaktionsfreiheit gegenüber einer Vielzahl von Chemikalien, einschließlich Schwefelsäure (H2SO4), Wasserstoffperoxid (H2O2) und sauberen Standardlösungen (SC1).

Eine der Hauptanwendungen des Quarztanks für die Nassverarbeitung bei der Waferherstellung ist die Reinigung von Wafern. Während verschiedener Herstellungsschritte können Wafer maskiert werden, um bestimmte Teile zu ätzen oder die Diffusion auf bestimmte Bereiche zu beschränken. Sobald ein bestimmter Prozessschritt abgeschlossen ist, muss das Maskierungsmaterial gründlich entfernt werden, um den Wafer für den nächsten Schritt vorzubereiten. Der Quarztank für die Nassverarbeitung spielt bei diesem Reinigungsprozess eine entscheidende Rolle und stellt sicher, dass die Wafer effektiv gereinigt werden, ohne dass Rückstände oder Partikel zurückbleiben, die nachfolgende Verarbeitungsschritte verunreinigen könnten.

Die Fähigkeit von Quartz, dem Tank für die Nassverarbeitung, aggressiven Chemikalien zu widerstehen, ist bei Nassverarbeitungsanwendungen von größter Bedeutung. Diese Tanks sind so konzipiert, dass sie den aggressiven Chemikalien, die bei Ätz- und Reinigungsprozessen verwendet werden, standhalten, ohne mit ihnen zu reagieren. Diese Nichtreaktivität stellt sicher, dass die Chemikalien wirksam bleiben und keine unerwünschten chemischen Reaktionen auftreten, die die Integrität der Wafer gefährden könnten.

Bei Wafer-Reinigungsprozessen ist es wichtig, die Kontamination der Wafer mit Partikeln zu minimieren. Der Quarztank von Semicorex für die Nassverarbeitung wurde entwickelt, um das Kontaminationsrisiko zu verringern und sicherzustellen, dass die Wafer gründlich und effizient gereinigt werden. Unsere Quarztanks können in beheizten und rezirkulierenden Modellen geliefert werden, die eine präzise Temperaturkontrolle und eine kontinuierliche Zirkulation der Reinigungslösungen ermöglichen.

Ein weiteres entscheidendes Merkmal des Semicorex-Quarztanks für die Nassverarbeitung ist die hohe Wärmebeständigkeit. Diese Tanks können bei Temperaturen von bis zu 190 °C betrieben werden und eignen sich für Prozesse, bei denen die Reinigungs- oder Ätzlösungen erhitzt werden. Eine hohe thermische Beständigkeit stellt sicher, dass die Tanks auch bei erhöhten Temperaturen ihre strukturelle Integrität und Leistung behalten. Dies ist besonders wichtig bei Prozessen, bei denen die Temperaturkontrolle für die Erzielung der gewünschten Ergebnisse von entscheidender Bedeutung ist.

Der Quarztank für die Nassverarbeitung weist außerdem eine geringe Wärmeausdehnung und eine hohe Beständigkeit gegen Temperaturschocks auf. Eine geringe Wärmeausdehnung minimiert das Risiko von Rissen oder Verformungen aufgrund von Temperaturschwankungen und gewährleistet so die Langlebigkeit und Zuverlässigkeit der Tanks. Durch die hohe Beständigkeit gegen Temperaturschocks können die Quarztanks schnellen Temperaturänderungen standhalten, ohne ihre strukturelle Integrität zu beeinträchtigen. Diese thermischen Eigenschaften sind für die Aufrechterhaltung der Präzision und Zuverlässigkeit der Nassverarbeitungsschritte bei der Waferherstellung von entscheidender Bedeutung.

Hohe Transparenz ist ein weiterer Vorteil des Semicorex-Quarztanks für die Nassverarbeitung. Die Transparenz des Quarzmaterials ermöglicht eine visuelle Inspektion der Wafer und der Reinigungs- oder Ätzlösungen während der Verarbeitung. Diese Transparenz verbessert die Prozesssteuerung und -überwachung und stellt sicher, dass etwaige Probleme umgehend erkannt und behoben werden können. Die Möglichkeit, den Prozess visuell zu überwachen, ist besonders wichtig, um die Qualität und Konsistenz der Wafer-Reinigungs- und Ätzschritte sicherzustellen.

Bei Semicorex setzen wir fortschrittliche Bearbeitungstechnologie ein, um hochwertige Quarztanks für die Nassverarbeitung herzustellen. Zu unseren Fertigungskapazitäten gehören Diamanttrennscheiben und Laserschneiden auf Maß, um präzise Abmessungen und hochwertige Oberflächen zu gewährleisten. Wir verwenden außerdem hochglanzpolierte Oberflächen, um das Risiko der Partikelbildung und Kontamination zu minimieren. Unsere erfahrenen Quarzschweißer und -maschinisten stellen hochreine Quarztanks mit hochfesten geschweißten Einlässen und Sondenhaltern her, die auf die spezifischen Bedürfnisse unserer Kunden zugeschnitten sind.

Um die Leistung und Haltbarkeit des Quarztanks für die Nassverarbeitung zu verbessern, glühen wir ihn, um thermische Spannungen abzubauen. Beim Glühen handelt es sich um einen Wärmebehandlungsprozess, der innere Spannungen im Quarzmaterial reduziert, seine Widerstandsfähigkeit gegenüber Thermoschocks verbessert und seine Gesamthaltbarkeit erhöht.

Kundenspezifische Größen und Konfigurationen sind unerlässlich, um den vielfältigen Anforderungen von Halbleiterfertigungsprozessen gerecht zu werden. Bei Semicorex bieten wir eine große Auswahl an kundenspezifischen Größen und Konfigurationen für unsere Quarztanks an, sodass wir Lösungen anbieten können, die auf die spezifischen Bedürfnisse unserer Kunden zugeschnitten sind. Ob es darum geht, hochfeste geschweißte Quarzeinlässe, Sondenhalter oder andere kundenspezifische Funktionen hinzuzufügen, wir arbeiten eng mit unseren Kunden zusammen, um Quarztanks zu liefern, die ihren genauen Spezifikationen entsprechen.