Der SiC-beschichtete Suszeptorzylinder für die Epitaxie-Reaktorkammer von Semicorex ist eine äußerst zuverlässige Lösung für Halbleiterfertigungsprozesse und zeichnet sich durch hervorragende Wärmeverteilungs- und Wärmeleitfähigkeitseigenschaften aus. Es ist außerdem äußerst beständig gegen Korrosion, Oxidation und hohe Temperaturen.
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