Semicorex ist ein vertrauenswürdiger Lieferant und Hersteller von Graphitsuszeptoren mit Siliziumkarbidbeschichtung für MOCVD. Unser Produkt ist speziell auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie beim Wachstum der Epitaxieschicht auf dem Wafer-Chip zugeschnitten. Das Produkt wird als Mittelplatte bei MOCVD verwendet, mit zahnrad- oder ringförmiger Gestaltung. Es weist eine hohe Hitze- und Korrosionsbeständigkeit auf und eignet sich daher ideal für den Einsatz in extremen Umgebungen.
WeiterlesenAnfrage absendenDer SiC-beschichtete Träger von Semicorex für das ICP-Plasmaätzsystem ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Hochtemperatur-Wafer-Handhabungsprozesse wie Epitaxie und MOCVD. Unsere Träger verfügen über eine feine SiC-Kristallbeschichtung, die eine hervorragende Hitzebeständigkeit, gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit und dauerhafte chemische Beständigkeit bietet.
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