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Langlebige Fokusringe für die Halbleiterverarbeitung

Die langlebigen Fokusringe von Semicorex für die Halbleiterverarbeitung sind so konzipiert, dass sie den extremen Umgebungen von Plasmaätzkammern standhalten, die in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Unsere Fokusringe bestehen aus hochreinem Graphit, der mit einer dichten, verschleißfesten Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung beschichtet ist. Die SiC-Beschichtung weist hohe Korrosions- und Hitzebeständigkeitseigenschaften sowie eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf. Um die Lebensdauer unserer Fokusringe zu verbessern, tragen wir SiC im chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) in dünnen Schichten auf den Graphit auf.

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Möchten Sie fortschrittliche und langlebige Plasma-Edge-Ring kaufen? Semicorex ist definitiv Ihre gute Wahl. Wir sind als einer der wettbewerbsfähigsten Plasma-Edge-Ring Hersteller und Lieferanten in China bekannt. Wir bieten auch Sammelverpackungen an. Möglicherweise benötigen Sie einige kundenspezifische Dienstleistungen, um die tatsächlichen Bedürfnisse Ihrer Region zu erfüllen. Sie können uns über die Kontaktinformationen auf der Webseite eine Nachricht hinterlassen. Wir heißen neue und alte Kunden herzlich willkommen, unsere Fabrik zur Beratung und Verhandlung zu besuchen.