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Planetary Susceptor

Semicorex Planetary Susceceptor ist eine hochreinbare Graphitkomponente mit einer SIC-Beschichtung, die für Aixtron G5+ -Reaktoren ausgelegt ist, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung, chemische Resistenz und epitaxiale Schichtwachstum mit hoher Präzision zu gewährleisten.**

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