Produkte

Semicorex CVD SiC-beschichtete Waferboote sind hochpräzise Keramik-Tragewerkzeuge aus ultrahochreinem Siliziumkarbid, die sich durch hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Sauberkeit und längere Lebensdauer auszeichnen. Als ideale Lösung für die thermische Waferverarbeitung können die mit SiC beschichteten CVD-Waferboote von Semicorex eine sichere und stabile Positionierung der Wafer während der Transfer- und Verarbeitungsphasen erreichen.

Semicorex CVD SiC Fin ist eine dicke, hochdichte feste Siliziumkarbidkomponente, die durch chemische Gasphasenabscheidung hergestellt wird und für Plasma- und Ultrahochtemperatur-Halbleiteranwendungen entwickelt wurde, die außergewöhnliche Reinheit, Haltbarkeit und Korrosionsbeständigkeit erfordern. Semicorex liefert fortschrittliche CVD-Siliziumkarbid-Komponenten an Hersteller von Halbleiterausrüstungen weltweit und bietet maßgeschneiderte Lösungen, Präzisionstechnik und zuverlässige globale Lieferung für die anspruchsvollsten Prozessumgebungen.*

Die SiC-Gasverteilungsplatte von Semicorex ist ein präzisionsgefertigter CVD-SiC-beschichteter Graphit-Duschkopf, der für eine gleichmäßige Gasverteilung, hervorragende Korrosionsbeständigkeit und Kontaminationskontrolle in Hochtemperatur-Halbleiterepitaxiesystemen sorgt. Semicorex liefert fortschrittliche SiC-beschichtete Graphitkomponenten an Halbleiterhersteller weltweit und bietet maßgeschneiderte Designs, hochreine Materialien und zuverlässige globale Lieferung für 8-Zoll-, 12-Zoll- und Wafer-Verarbeitungsplattformen der nächsten Generation.*

Die aus hochwertiger Siliziumkarbidkeramik hergestellten Semicorex SiC-Wärmetauscherrohre sind für eine hocheffiziente Wärmeleitung und einen hocheffizienten Wärmeaustausch ausgelegt. Mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanischer Festigkeit sind Semicorex SiC-Wärmetauscherrohre die unverzichtbaren Kernteile für Rohrbündelwärmetauscher.

Semicorex SiC-Wärmetauscherrohre sind Hochleistungsrohrkomponenten aus Siliziumkarbidkeramik, die als Kernbestandteile von Rohrbündelwärmetauschern dienen. Semicorex SiC-Wärmetauscherrohre nutzen die hervorragenden Eigenschaften von Siliziumkarbidkeramik und eignen sich gut für anspruchsvolle Umgebungen wie hohe Temperaturen, hohen Druck, starke chemische Korrosion, schnelle Gaseinwirkung und Partikelverschleiß.

Semicorex SiC-Keramikkugellager sind Hochleistungskeramiklager mit Keramikkugeln und Lagerlaufbahnen, die präzise aus Siliziumkarbidkeramik gefertigt sind. Semicorex SiC-Keramikkugellager sind die ideale Wahl für Anwendungen, die eine hohe Drehzahl und zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Hochtemperatur- und stark korrosiven Umgebungen erfordern.