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PFA -Wafer -Kassetten
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PFA -Wafer -Kassetten

Semicorex-PFA-Waferkassetten sind hochreines Träger, um eine sichere und kontaminationsfreie Handhabung von Halbleiterwaffeln während der Nassverarbeitung, der Lagerung und des Transports zu gewährleisten. Die Auswahl von Semicorex garantiert nicht nur eine überlegene PFA-Materialqualität, sondern auch die Präzisionstechnik, die Zuverlässigkeit, Sauberkeit und langfristige Leistung in fortgeschrittenen Herstellungsumgebungen bietet.*

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Produktbeschreibung

Semicorex -PFA -Waferkassetten sind konstruierte Träger, die für die Sicherheits-, Speicher- und Übertragung von Halbleiterwafern in fortschrittlichen Herstellungsanwendungen ausgelegt sind. Diese Kassetten bestehen aus dem PFA -Polymer (Purity -Perfluoralkoxy) (PFA) und präsentieren den chemischen Widerstand, die thermische Stabilität und die mechanische Haltbarkeit, die für Nassreinigung, chemische Verarbeitung und Wafertransportanwendungen erforderlich ist. Wafer bleiben vor Kontamination, mechanischer Beschädigung und chemischer Angriff in den kritischen Wafertransportschritten im Halbleiterherstellungsprozess geschützt.


Die Verwendung von PFA als primäres Material für diese Waferkassetten ist eine signifikante Änderung von traditionellen Polymerträgern. PFA hat eine überlegene Resistenz gegen viele aggressive Säuren, Basen und Lösungsmittel, die in den Nassprozessreinigungsschritten (d. H. RCA -Reinigung, SC1, SC2) typischerweise mit der Herstellung von Halbleiter verbunden sind. Die chemische Inertheit von PFA stellt sicher, dass Wafer nicht einer Verunreinigung ausgesetzt sind, die vom Träger selbst austritt, sodass Fehler nicht aus mangelnder Prozessintegrität entstehen. Darüber hinaus ermöglicht es den Kassetten, hohen chemischen Bädern oder heißen Ultrapur -Wasserspülungen mit einer stabilen und zuverlässigen Leistung zu unterstützen.



PFA -Wafer -Kassettenwerden mit präzisen glatten Oberflächen konstruiert, die auch nicht porös sind, um die Partikelanhältung zu minimieren und Reinigung zu ermöglichen. Waferkassetten erzielen bei den heutigen Fabriken ein hohes Sauberkeitsniveau, bei denen selbst eine Sub-Micron-Kontamination zu einem Ertragsverlust oder einem Ausfall von Geräten führen kann. Die Art der reibungslosen internen Konturen verringert das Kratzen der empfindlichen Waferoberflächen und ermöglicht die ordnungsgemäße Entwässerung von Flüssigkeiten nach nassen Verarbeitung, um zu verhindern, dass eine Aufschlämmung chemischer Rückstände die Wafer verbleibt oder die Wafer berührt und gleichzeitig die Prozesskonsistenz und ein verringerter Bedarf an Reinigungsanstrengungen zum zweiten Mal.


Ein zusätzlicher Hauptvorteil von PFA -Waferkassetten ist die dimensionale Genauigkeit und strukturelle Stabilität. Der Kassettenherstellungsprozess erfordert engere Toleranzen als normalerweise erwartet, wodurch die Kassette Wafer so festhält, dass es keinen unerwünschten Verschiebung oder unerwünschten Kontakt der Wafer während der Übertragung gibt. Die Kassetten sind in Position oder konsistent, unabhängig davon, ob es sich um manuelle Handhabung oder bei automatisierten Wafertransportsystemen handelt. PFA -Wafer -Kassetten entsprechen genau den Standard -physikalischen Ausbrüchen im Zusammenhang mit der Handhabung und Transportsysteme für den Standard -Wafer und Transportunternehmen. Die lange und nützliche Serviceleistung, die mit PFA-Waferkassetten verbunden ist, erhöht den Wert der Investition, da PFA nach wiederholten chemischen, thermischem Radfahren und mechanischen Expositionen standhalten kann.


PFA -Wafer -Kassetten sind nicht nur in der Verarbeitung von Wetchemikalien wertvolles Vermögen, sondern auch für die Lagerung und den Transport. Sie sind mit inerten Materialien gebaut, um die Wafer während des Kühlprozesses sauber zu halten, und ihre Haltbarkeit sollte die Bruch- und Kantenchips durch Verpackung und Transport begrenzen. PFA -Wafer -Kassetten sind für Halbleiterfabs sowie Forschungslabors, Photovoltaik -Fertigung und andere Branchen, die eine hohe Reinheit Wafer -Handhabung benötigen, wichtig.


PFA -Wafer -KassettenBringen Sie auch günstige Nachhaltigkeit und Kosten pro Verwendung. Die Baumaterialien sind widerstandsfähig gegen chemische Angriffe und leicht zu reinigen, damit sie wiederverwendbar sind, Abfälle und Einwegartikel senken und wiederholte Verwendung fördern, um langfristige Betriebskosten zu senken. Wenn Sie den häufigen Abbau eines Wafers bei einer Kontamination, einer Verringerung der Kontaminationsereignisse und des Verlusts des Wafers erhöhen und die Defekte verringern. Der Verlust von Ertrag und erhöhte Leinwanddefektivität sind wichtige Faktoren für die Ontologie zur Wettbewerbsfähigkeit eines Halbleiterfertigungsbetriebs.


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