PFA -Waferträger

Semicorex PFAWaferträgersind Hochleistungsträger, die für die sichere Handhabung, Lagerung und den Transport von Halbleiterwafern in einer ultra-verarbeiteten Umgebung entwickelt wurden. Die Herstellung fortschrittlicher Halbleiter stellt sicher, dass PFA -Waferträger einen unvergleichlichen chemischen Widerstand, die thermische Stabilität und die Partikelkontrolle von der Integrität und Sauberkeit der Wafer während der Herstellung bis zu endgültigen Tests anbieten.

Diese aus neuen PFA hergestellten Waferträger zeigen eine große Resistenz gegen harte Chemikalien wie starke Säuren, Basen und Lösungsmittel, die normalerweise bei der Reinigung und Ätzen von Wafern verwendet werden. PFAs sehr niedrige Ionen -Auslaugung und -auslaugungseigenschaften machen es zum bevorzugten Material für wichtige Reinraumaufgaben, bei denen selbst kleine Mengen an Verunreinigungen die Geräteerträge beeinflussen können.

PFA -Waferträger werden in sauberen Räumen hergestellt und arbeiten mit den Standards der Klassen 1 (ISO -Klasse 3). Die glatte, nicht stehende Oberfläche von PFA minimiert die Partikelerzeugung und -verdienung und verhindert die Kontamination von Resten oder Partikeln. Darüber hinaus erleichtert die hydrophobe Natur von PFA eine gründliche Spülung und das schnelle Trocknen, wodurch das Risiko einer Kreuzkontamination während feuchter Verarbeitungsschritte weiter verringert wird.

Jeder PFA -Waferträger ist genau hergestellt, um sicher und sogar die Unterstützung von Wafern während des Umzugs und der Aufbewahrung zu gewährleisten. Rilled -Slots helfen Wafern mit wenig Kontakt, reduzieren Spannung und Abbrüche an den Rändern der Wafer. Träger sind in vielen Formen erhältlich, um verschiedene Größen von Wafern zu erreichen, darunter 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm Durchmesser. Optionale Spitzen und enge Verriegelungsmethoden bieten zusätzliche Sicherheit gegen Schock für die Waren, Vibrationen und die Exposition gegenüber der Umwelt.

Aufgrund des hervorragenden thermischen Widerstands von PFA bis zu 260 ° C ist es mit Hochtemperaturprozessen wie Diffusion, Oxidation und CVD der chemischen Dampfabscheidung kompatibel. Der Träger behält seine strukturelle Integrität unter wiederholtem thermischem Radfahren bei und eignet sich daher sowohl für Batch- als auch für automatisierte Verarbeitungsumgebungen.

PFA-Waferträger haben breite Anwendungen bei der Reinigung von Wafern, der Nasseibe, der Photolithographie-CMP sowie anderen Front-End- und Back-End-Prozessen bei der IC-Herstellung. Ihr robustes Design und ihre Reinheit machen sie ideal für die Verwendung in FABS-, F & E -Labor- und OEM -Geräten, die strikte Kontaminationskontrollprotokolle erfordern.

AngepasstPFA -Waferträgerkann entwickelt werden, um bestimmte Automatisierungsanforderungen zu erfüllen, einschließlich Roboterhandhabung, Track -Systeme und vertikaler/horizontaler Transport. Träger sind vollständig kompatibel mit Standard -Waferhandhabungsgeräten und Semiconductor Manufacturing Tools.