Graphit ist ein Kohlenstoffallotrop mit einer hexagonalen Kristallschichtstruktur. Es zeichnet sich durch hervorragende elektrische Leitfähigkeit, Wärmeleitfähigkeit, Schmierfähigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, Thermoschockbeständigkeit und chemische Stabilität aus und wird als „schwarzes Gold“ bezeichnet. Aus diesen Gründen wird es häufig in der Metallurgie, im Maschinenbau, im Chemieingenieurwesen, in der Photovoltaik, in der Halbleiterindustrie, in der Nuklearindustrie, in der Landesverteidigung und in der Luft- und Raumfahrtindustrie eingesetzt und ist heute zu einem unverzichtbaren nichtmetallischen Material für die Entwicklung von Hoch- und Neutechnologien geworden.
Unterschiedliche Anwendungsszenarien stellen unterschiedliche Leistungsanforderungen an Graphitprodukte, sodass eine präzise Materialauswahl ein zentraler Schritt bei der Anwendung von Graphitprodukten ist. Die Wahl von Graphitkomponenten mit einer Leistung, die zu den Anwendungsszenarien passt, kann nicht nur ihre Lebensdauer effektiv verlängern und die Austauschhäufigkeit und -kosten reduzieren, sondern auch dazu beitragen, die Produktionsqualität und den Ertrag der Endprodukte zu verbessern.
Die Reinheit des Graphitmaterials bestimmt direkt die Haltbarkeit von Bauteilen. Verunreinigungen (wie Fe, Si, Al) in Graphitkomponenten bilden in einer Hochtemperatur-Vakuumumgebung Verbindungen mit niedrigem Schmelzpunkt, die die Graphitkomponenten langsam erodieren und zu Rissen und Schäden führen. Für den Einsatz hochpräziser Vakuumöfen im Halbleiterbereich müssen Kernkomponenten wie Graphitheizer, Graphittiegel, Graphitisolationszylinder und Graphitträger aus hochreinem Graphit mit einer Reinheit von 5 N und höher hergestellt werden, und der Aschegehalt des Materials muss streng auf unter 10 ppm kontrolliert werden.
Dichte und Struktur werden bei der Auswahl des Graphitmaterials oft vernachlässigt, doch diese beiden Indikatoren sind die Kernfaktoren, die die Thermoschock- und Kriechbeständigkeit von Graphitkomponenten bestimmen. Je höher die Dichte des Graphitmaterials ist, desto geringer ist die Porosität der Komponenten, desto größer ist ihre Beständigkeit gegen das Eindringen von Gas und Thermoschock und desto geringer ist die Wahrscheinlichkeit, dass sie während des Gebrauchs reißen. Nehmen wir als Beispiel isostatisch gepressten Graphit: Dieser Graphittyp weist einen isotropen Fehler von weniger als 1 % und ein gleichmäßiges Wärmeausdehnungsverhalten auf. Seine Thermoschockbeständigkeit ist mehr als 30 % höher als die von gewöhnlichem Formgraphit und seine Kriechfestigkeit beträgt das Drei- bis Fünffache der von extrudiertem Graphit, was es zu einem idealen Material für Vakuumöfen macht, die häufigen Temperaturzyklen ausgesetzt sind.
Es besteht keine Notwendigkeit, bei der Auswahl von Graphitkomponenten blind nach High-End-Materialien zu streben. Eine präzise Materialauswahl basierend auf der maximalen Betriebstemperatur des Vakuumofens kann nicht nur die Kosten kontrollieren, sondern auch die Haltbarkeit der Komponenten gewährleisten und so ein maximales Kosten-Leistungs-Verhältnis erzielen.
Die Betriebstemperatur liegt unter 1600℃:Um grundlegende Anwendungsanforderungen zu erfüllen, kann gewöhnlicher hochreiner Graphit verwendet werden.
Die Betriebstemperatur bei 1600℃ bis 2000℃:Hochreine Feinkörnungisostatischer Graphitist die geeignete Wahl, die Haltbarkeit und Kostenleistung in Einklang bringt.
Die Betriebstemperatur übersteigt 2000℃:Um eine konstante Leistung unter rauen Hochtemperatur-Betriebsbedingungen sicherzustellen, sollten isostatischer Graphit, pyrolytischer Graphit oder C/C-Verbundwerkstoffe ausgewählt werden.
Die Anwendung einer geeigneten Oberflächenbehandlung auf Graphitkomponenten ist gleichbedeutend mit dem Anbringen eines „Schutzschildes“ an ihnen, der Oxidation und mittlerer Erosion wirksam widerstehen und ihre Lebensdauer erheblich verlängern kann. Im Folgenden sind einige gängige Oberflächenbehandlungsmethoden für Graphitkomponenten aufgeführt:
Eine einheitliche und dichteCVD-SiC-Beschichtungkann die Oxidationsbeständigkeitstemperatur von Graphitkomponenten erheblich erhöhen und ist für die meisten Graphitkomponenten von Vakuumöfen geeignet, zHeizungen, Tiegelund Isolierzylinder. Diese Beschichtung kann der Erosion chemischer Gase wie Sauerstoff, Chlor und Siliziumdampf in der Betriebsumgebung wirksam widerstehen.
Im Vergleich zur CVD-SiC-BeschichtungTantalkarbidbeschichtungverfügt über eine bessere Korrosionsbeständigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit und hält Umgebungen mit extrem hohen Temperaturen und extremer chemischer Korrosion stand, wie z. B. den rauen Anwendungsszenarien von Siliziumkarbid-Kristallwachstumsöfen.
Für einige tragende Graphitbauteile und C/C-Verbundwerkstoffe wird eine Siliziuminfiltrationsbehandlung empfohlen. Nach der Behandlung werden die Härte, Verschleißfestigkeit und Kriechfestigkeit der Bauteile deutlich verbessert. Eine Harzimprägnierung oder eine Behandlung mit pyrolytischem Kohlenstoff können ebenfalls eingesetzt werden, um die Oberflächenporen von Graphitbauteilen zu füllen, Ausgasungen zu reduzieren und die Luftdichtheit zu verbessern.