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Was ist CVD für SiC?

2023-07-03

Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist eine häufig verwendete Methode zur Herstellung dünner Filme, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden.Im Zusammenhang mit SiC bezeichnet CVD den Prozess des Züchtens dünner SiC-Filme oder -Beschichtungen durch die chemische Reaktion gasförmiger Vorläufer auf einem Substrat. Die allgemeinen Schritte beim SiC-CVD sind wie folgt:

 

Substratvorbereitung: Das Substrat, in der Regel ein Siliziumwafer, wird gereinigt und vorbereitet, um eine saubere Oberfläche für die SiC-Abscheidung zu gewährleisten.

 

Vorbereitung des Vorläufergases: Es werden gasförmige Vorläufer hergestellt, die Silizium- und Kohlenstoffatome enthalten. Übliche Vorläufer sind Silan (SiH4) und Methylsilan (CH3SiH3).

 

Reaktoraufbau: Das Substrat wird in eine Reaktorkammer gegeben, die Kammer wird evakuiert und mit einem Inertgas wie Argon gespült, um Verunreinigungen und Sauerstoff zu entfernen.

 

Abscheidungsprozess: Die Vorläufergase werden in die Reaktorkammer eingeleitet, wo sie chemische Reaktionen eingehen, um SiC auf der Substratoberfläche zu bilden. Die Reaktionen werden typischerweise bei hohen Temperaturen (800–1200 Grad Celsius) und unter kontrolliertem Druck durchgeführt.

 

Filmwachstum: Der SiC-Film wächst allmählich auf dem Substrat, während die Vorläufergase reagieren und SiC-Atome ablagern. Die Wachstumsrate und Filmeigenschaften können durch verschiedene Prozessparameter wie Temperatur, Vorläuferkonzentration, Gasdurchflussraten und Druck beeinflusst werden.

 

Abkühlung und Nachbehandlung: Sobald die gewünschte Schichtdicke erreicht ist, wird der Reaktor abgekühlt und das SiC-beschichtete Substrat entfernt. Zusätzliche Nachbehandlungsschritte wie Glühen oder Oberflächenpolieren können durchgeführt werden, um die Eigenschaften des Films zu verbessern oder etwaige Mängel zu beseitigen.

 

SiC-CVD ermöglicht eine präzise Kontrolle über Filmdicke, Zusammensetzung und Eigenschaften. Es wird in der Halbleiterindustrie häufig zur Herstellung von SiC-basierten elektronischen Geräten wie Hochleistungstransistoren, Dioden und Sensoren verwendet. Das CVD-Verfahren ermöglicht die Abscheidung gleichmäßiger und hochwertiger SiC-Filme mit ausgezeichneter elektrischer Leitfähigkeit und thermischer Stabilität und eignet sich daher für verschiedene Anwendungen in der Leistungselektronik, Luft- und Raumfahrt, Automobilindustrie und anderen Industrien.

 

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