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Cantilever Paddel kennen lernen

2023-06-26

Während der Verarbeitung müssen Halbleiterwafer normalerweise in einem speziellen Ofen erhitzt werden. Solche Öfen bestehen typischerweise aus langen, dünnen, zylindrischen Rohren. Die Wafer werden im Ofen und Reaktor so positioniert, dass sie entlang einer Ebene angeordnet sind, die durch den kreisförmigen Querschnitt des Ofens oder Reaktors definiert wird, und an vorbestimmten, normalerweise gleichmäßig beabstandeten Punkten entlang der Mittelachse des Ofens oder Reaktors voneinander beabstandet sind Ofen oder Reaktor. Um diese Positionierung zu erreichen, werden die Wafer typischerweise auf geschlitzten Haltern, sogenannten Waferbooten, platziert, die die Wafer in einer beabstandeten Konfiguration entlang der Mittelachse positionieren.

 

Kleine Boote mit zu verarbeitenden Waferchargen werden auf lange Auslegerpaddel gestellt, durch die Rohröfen und Reaktoren ein- und ausgefahren werden können. Solche Paddel umfassen typischerweise einen flachen Trägerabschnitt, auf dem ein oder mehrere kleine Boote platziert werden können, und einen langen Griff an einem Ende des flachen Trägerabschnitts, mit dem die Paddel gehandhabt werden können. Um sie zu einem Ganzen zu machen, wird üblicherweise ein Übergangsabschnitt zwischen dem Griff und dem Trägerabschnitt gebildet. Außerdem muss der Griff aus dem Ofen oder Reaktor herausragen, damit er und das Waferschiffchen manipuliert werden können.

 

Die Positionierung des Waferschiffs innerhalb des Ofens oder Reaktors ist wichtig, da es wünschenswert ist, die Mitte jedes Wafers so nahe wie möglich an der Mittelachse des Ofens oder Reaktors zu platzieren, um gleichmäßige Verarbeitungsbedingungen zu erreichen, denen die Wafer ausgesetzt sind. Daher muss bei der Konstruktion des Paddels die Biegung des Paddels durch das Gewicht des die Wafer transportierenden Schiffs berücksichtigt werden, insbesondere da das Paddel nur an einem Ende abgestützt ist, d. h. an dem Ende, das aus der Ofenkammer herausragt. Neben der Berücksichtigung des Paddeldesigns, das sich aus den Anforderungen an das Betriebsgewicht ergibt, muss auch ein Satz Klemmen verwendet werden, die das ausgefahrene Ende des Paddels präzise in Position halten. Diese Klemmen müssen sehr robust sein, um das Paddel in der genau gewünschten Position zu halten, gleichzeitig einfach zu bedienen sein und die Möglichkeit einer Beschädigung des Paddels während des Klemmens minimieren.

 

Daher wurde ein freitragendes Paddel benötigt, das mit einer schwereren Last verwendet werden kann und gleichzeitig mit bestehenden Spannsystemen kompatibel bleibt. Es bestand außerdem Bedarf an einem freitragenden Paddel, das über den gesamten Gewichtsbereich, mit dem es verwendet werden konnte, akzeptable Durchbiegungseigenschaften aufwies.

 

Das cEs wird empfohlen, rekristallisiertes Siliziumkarbid mit einer CVD-SiC-Dünnschicht zu verwenden, da es sich um eine hochreine und beste Wahl für Komponenten in der Halbleiterverarbeitung handelt.

 

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