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Anwendungsszenarien für Epitaxieschichten

2023-05-03

Wir wissen, dass auf einigen Wafer-Substraten für die Geräteherstellung weitere Epitaxieschichten aufgebaut werden müssen, typischerweise LED-Licht emittierende Geräte, die GaAs-Epitaxieschichten auf Siliziumsubstraten erfordern; SiC-Epitaxieschichten werden auf leitfähigen SiC-Substraten aufgewachsen, um Geräte wie SBDs, MOSFETs usw. für Hochspannungs-, Hochstrom- und andere Leistungsanwendungen zu bauen. GaN-Epitaxieschichten werden auf halbisolierenden SiC-Substraten für den Aufbau von HEMTs und anderen HF-Anwendungen aufgebaut. Die GaN-Epitaxieschicht wird auf dem halbisolierten SiC-Substrat aufgebaut, um weitere HEMT-Geräte für HF-Anwendungen wie die Kommunikation zu konstruieren.

 

Hier ist es notwendig zu verwendenCVD-Ausrüstung(Natürlich gibt es auch andere technische Methoden). Bei der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) werden Elemente der Gruppen III und II sowie Elemente der Gruppen V und VI als Ausgangsmaterialien verwendet und durch thermische Zersetzungsreaktion auf der Substratoberfläche abgeschieden, um verschiedene dünne Schichten der Gruppe III-V (GaN, GaAs usw.), Gruppe II-VI (Si, SiC usw.) und mehrere feste Lösungen. und mehrschichtige feste Lösungen dünner einkristalliner Materialien sind die Hauptmittel zur Herstellung optoelektronischer Geräte, Mikrowellengeräte und Materialien für Leistungsgeräte.