Was ist ein SiC-Boot und welche verschiedenen Herstellungsprozesse gibt es?

1. Die verschiedenen Herstellungsprozesse vonSiC-Boot

(1) Eine Schicht auftragenSiC-Filmauf der Oberfläche von GraphitKristallbootedurch CVD

Dieser Bootstyp hat einen Graphitkern, der aus einem Stück gefertigt ist. Jedoch,Graphit ist porösund anfällig für die Bildung von Partikeln, was die Anwendung von a erforderlich machtSiC-Filmbeschichtungauf seiner Oberfläche. Aufgrund der Nichtübereinstimmung des Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE) zwischen dem Graphitkörper und demSiC-Filmbesteht die Gefahr, dass sich die Beschichtung nach mehreren Heiz- und Kühlzyklen ablöst, was zu einer Partikelverunreinigung führt. Diese Boote sind die günstigsten und haben eine Lebensdauer von etwa einem Jahr.

(2) Eine Schicht auftragenSiC-Filmauf rekristallisiertSiC-Kristallboote

UmkristallisiertSiC-Bootesind zudem porös und können leicht Partikel erzeugen. Daher werden die einzelnen Komponenten rekristallisiertSiC-Bootemüssen vorgeformt, gesintert und dann separat bearbeitet werden. Anschließend werden die Bauteile mittels Si-Paste bei hohen Temperaturen miteinander verbunden. Sobald es zu einem einzigen Boot zusammengebaut ist, aSiC-Filmwird durch CVD angewendet. Dieses rekristallisierteSiC-Boothat den längsten Herstellungsprozess und ist teuer, aber die OberflächeCVD-Beschichtungkönnen ebenfalls beschädigt werden und haben eine Lebensdauer von etwa drei Jahren.

(3)MonolithischSiC-Kristallboote

DieseBootebestehen vollständig aus SiC-Material. SiC-Pulver muss geformt und in die Form eines monolithischen Bootes gesintert werden. Sie sind äußerst kostspielig, sehr langlebig und verursachen weniger Partikel. Allerdings enthalten diese Boote 10–15 % freies Silizium, das anfällig für Erosion durch Fluor und Chlor ist, was zu einer Partikelkontamination führt.

2. Warum wird eine chemische Reinigung nicht empfohlen?

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass zSiC-Bootebeschichtet mit aSiC-Film durch CVD, neigt die Oberflächenbeschichtung bei der Trockenreinigung dazu, sich abzulösen, was zu einer Partikelverunreinigung führt. Für monolithischSiC-Bootedie eine geringe Menge an freiem Silizium enthalten, kann der Kontakt mit fluor- oder chlorhaltigen Gasen zu Erosion und Partikelbildung und damit zu einer Kontamination führen.**