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Quarzprodukte in Halbleiteranwendungen

2023-11-10

In der Halbleiterindustrie ist Quarz weit verbreitet und hochreine Quarzprodukte sind noch wichtigere Verbrauchsmaterialien in der Waferproduktion. Bei der Herstellung von Silizium-Einkristalltiegeln, Kristallbooten, Diffusionsofenkernrohren und anderen Quarzkomponenten müssen hochreine Quarzglasprodukte verwendet werden. Quarzteile im Halbleiterbereich, die Hauptzielmarktanwendungen für Wafer-Gießerei-Diffusions- und Ätzprozesse, können in zwei Kategorien von Hochtemperaturzonengeräten und Niedertemperaturzonengeräten unterteilt werden. Die Hauptgeräte werden wie folgt verwendet:


1) Hochtemperaturzonengeräte sind hauptsächlich Diffusionsoxidationsgeräte und andere Aspekte der Verwendung von Ofenrohren, Glasbootgestellen usw. müssen sich in einer Hochtemperaturumgebung befinden und direkt oder indirekt mit dem Siliziumwafer in Kontakt kommen. hauptsächlich die Beschaffung von elektrogeschmolzenen Quarzglasmaterialien, die durch thermische Verarbeitung hergestellt werden;

2) Niedertemperaturzonengeräte sind hauptsächlich Ätzglieder wie Quarzringe, umfassen aber auch Reinigungsprozesskörbe, Reinigungstanks usw., die hauptsächlich in Umgebungen mit niedrigen Temperaturen verwendet werden; Hauptsächlich gekauftes Gasraffinierungs-Quarzglas, durch Kaltverarbeitungsproduktion


Unter ihnen verbrauchen die Hochtemperaturzonengeräte schneller, aber ähnlich wie die Multi-Chip-Maschine (ein Träger zum Tragen von mehr als einem Wafer), die Niedertemperaturzonengeräte verbrauchen langsamer, sind aber monolithisch (ein Träger zum Tragen eines Wafers). ; Daher liegen die beiden Gesamtmarktgrößen relativ nahe beieinander.