Tantalkarbidbeschichtungen in der Halbleiterindustrie

Die Entwicklung leistungsstarker blauer und UV-LEDs hat die Entwicklung vollfarbiger LED-TV-Displays sowie weißer LED-Automobil- und Haushaltsbeleuchtung ermöglicht. Diese LEDs basieren auf Galliumnitrid, das im MOCVD-Verfahren auf Substratwafern abgeschieden wird, die von CVD-SiC-beschichteten Graphitsuszeptoren getragen werden. Allerdings wird die SiC-Beschichtung durch das im Prozess verwendete Ammoniakgas angegriffen, was ihre Lebensdauer verkürzt. Um die Lebensdauer der Beschichtung zu verlängern und die Gesamtkosten zu senken, benötigt die Industrie eine neue, inertere Beschichtungsoption. Als Ersatz wird Tantalcarbid in Betracht gezogen, da es die Widerstandsfähigkeit gegenüber dieser aggressiven Atmosphäre erheblich verbessern kann und eine Lösung bietet, die derzeit nicht verfügbar ist. Semicorex verkauft CVD-TaC-beschichtete Graphitteile an Zulieferer der Halbleiterindustrie.

Unsere TaC-beschichteten Graphitprodukte sind im Vergleich zu SiC-beschichteten Graphitprodukten für ihre überlegene Hitzebeständigkeit bekannt. Daher werden sie häufig in der Halbleiterverarbeitung eingesetzt, beispielsweise im Epitaxieprozess von SiC-Wafern, die bei höheren Temperaturen verwendet werden. Die Nachfrage nach unseren Produkten steigt entsprechend dem Marktwachstum.

Semicorex bietet hochwertige TaC-beschichtete Graphitteile mit maßgeschneidertem Service. Wenn Sie Fragen haben oder zusätzliche Informationen benötigen, zögern Sie bitte nicht, mit uns Kontakt aufzunehmen.

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