Horizontale Wafer-Kassette

Materialeigenschaften

Die horizontale Waferkassette von Semicorex ist ein wichtiges Werkzeug in der Halbleiterindustrie zum Schutz und zur Handhabung von Wafern in verschiedenen Produktionsphasen. Diese Kassetten werden oft als Waferträger bezeichnet und sind für die Aufnahme und den Transport mehrerer Wafer derselben Größe konzipiert. Sie gewährleisten eine hervorragende Leistung unter verschiedenen Produktionsbedingungen, indem sie spezifische Prozessanforderungen, wie z. B. die thermische Verarbeitung, erfüllen und sind in einer Vielzahl von Materialien erhältlich.

Verschiedene Materialauswahlen

Horizontale Wafer-Kassetten sind in verschiedenen Hochleistungsmaterialien erhältlich, um den unterschiedlichen Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht zu werden. Diese bieten eine hervorragende chemische Beständigkeit und thermische Stabilität und umfassen PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon und PTFE Teflon. Für Anwendungen, die eine erhöhte mechanische Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit erfordern, werden Edelstahloptionen wie 304L und 316 empfohlen. Aufgrund seiner wirtschaftlichen und leichten Eigenschaften wird auch natürliches Polypropylen verwendet, das eine flexible Anwendung ermöglicht und gleichzeitig die Integrität des Wafer-Handhabungsverfahrens bewahrt.

Merkmale von Advanced Design

Die Eigenschaften horizontaler Waferkassetten können an bestimmte Betriebsanforderungen angepasst werden und werden sorgfältig konstruiert. Diese bestehen aus seitlichen Öffnungsprofilen, Substratkontaktpunkten, Substratabstand und -abstand sowie Größen und Formen, die geändert werden können. Ihre Anpassungsfähigkeit an eine Vielzahl von Prozessen wird durch ihre Vielseitigkeit bei der Substratausrichtung und die Fähigkeit, eine Reihe von Substratgrößen zu verarbeiten, erhöht. Darüber hinaus können diese Kassetten mit Automatisierungsfunktionen und Möglichkeiten zur Kassettenhandhabung, wie abnehmbaren Griffen für mehr Komfort, ausgestattet werden.

Anwendungen

In der Halbleiterfertigung ist der Einsatz horizontaler Waferkassetten unerlässlich, um die sichere und effektive Handhabung von Wafern in verschiedenen Prozessen zu gewährleisten.

Horizontale Wafer-Kassetten bestehen aus robusten, hochwertigen Materialien und bieten einen starken Schutz vor physischen Schäden und Verunreinigungen, zwei Hauptproblemen in Halbleiterumgebungen. Die Architektur der Kassetten schützt die empfindlichen Wafer während der Lagerung und des Transports, indem sie die Belastung durch Verunreinigungen verringert.

Verbesserte Reinigung und Trocknung

Durch die große Öffnungsfläche im Design horizontaler Waffelkassetten werden bessere Wasch- und Trocknungsergebnisse ermöglicht. Diese Eigenschaft ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Waferreinheit, wodurch die Möglichkeit von Fehlern verringert und die Qualität der fertigen Halbleiterbauelemente verbessert wird.

Effizienz des chemischen Flusses und der Verarbeitung

Um Materialeinschlüsse zu minimieren und die chemische Durchflussdynamik zu maximieren, wurden horizontale Waferkassetten entwickelt. Um den Chemikalienfluss zu verbessern und eine vollständige Abdeckung und effiziente Verarbeitung in Chemikalienbädern zu gewährleisten, können eine Reihe zusätzlicher Funktionen hinzugefügt werden.

Sicherer Transport und Ausrichtung von Wafern

Das Design der horizontalen Waferkassette zeichnet sich durch eine präzise Waferausrichtung aus, die garantiert, dass die Wafer während des Transports fest in ihrer Position bleiben. Dies verringert die Möglichkeit von Brüchen oder Fehlausrichtungen, die zu kostspieligen Fehlern oder Verzögerungen im Prozess führen könnten. Die Waferhandhabung muss sicher erfolgen, um die Integrität des Halbleiterherstellungsprozesses zu wahren.

Effizienz in Arbeitsabläufen und Ergonomie

Horizontale Wafer-Kassetten sind aufgrund ihres ergonomischen Designs, das den Lade- und Entladevorgang rationalisiert, einfach zu verwenden und effizient. In Reinräumen verbessert diese einfache Bedienung die Effizienz der Arbeitsabläufe und ermöglicht effizientere Prozesse und kürzere Bearbeitungszeiten. Hersteller von Halbleitern können durch die Vereinfachung dieser Verfahren ihre Effizienz steigern und strenge Sauberkeitsstandards einhalten.