Horizontale Quarz-Wafer-Boote

Horizontale Quarz-Wafer-BooteNormalerweise werden Halbleiterwafer horizontal in den Ofenrohren von Wärmebehandlungsanlagen gehalten und durch externe Heizgeräte erhitzt. Sie werden häufig in anspruchsvollen korrosiven Hochtemperatur-Wärmebehandlungsprozessen für Halbleiter wie thermische Oxidation, Hochtemperaturdiffusion, Glühen und chemische Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetzt.

Die Funktionen der horizontalen Quarz-Wafer-Boote von Semicorex

1.Stabiles Halten und Sichern

Die horizontalen Quarz-Waferboote von Semicorex verfügen über eine hervorragende Tragfähigkeit und können mehrere Halbleiterwafer dauerhaft stabil stützen. Und ihr optimiertes äußeres Design und die präzise Schlitzstruktur gewährleisten beidesWaferist perfekt auf den horizontalen Quarz-Wafer-Schiffen montiert und sicher befestigt, wodurch die Wafer-Kratzer und Kollisionen durch Erschütterungen, Verschiebungen und Kippungen während des Transports und der Herstellungsprozesse deutlich reduziert werden.

2.Unterstützung der Prozesseinheitlichkeit

Die gleichmäßig verteilte Schlitzstruktur horizontaler Quarzwaferboote ermöglicht die geordnete Platzierung von Halbleiterwafern und schafft so ein stabiles und gleichmäßiges Gasströmungsfeld in den Hochtemperaturöfen. Das Strukturdesign sorgt für einen gleichmäßigen Gaskontakt und eine gleichbleibende Reaktionsgeschwindigkeit auf jeder Waferoberfläche und reduziert dadurch wirksam verschiedene Defekte, die durch die ungleichmäßige Erwärmung und den unterschiedlichen Gaskontakt verursacht werden, wie z. B. unvollständige Waferoxidation, ungleichmäßige Dünnschichtabscheidung und Abweichung der Dotierungskonzentration.

3. Langlebige Lebensdauer

Dank der überlegenen Hochtemperaturbeständigkeit des Quarzmaterials können horizontale Quarzwaferboote von Semicorex hohen Temperaturen von 1100–1200 °C über einen langen Zeitraum standhalten, ohne dass sie sich verformen oder schmelzen.Quarzist gegenüber Gasen, die üblicherweise in Halbleiterprozessen verwendet werden, wie Sauerstoff, Stickstoff und Chlorwasserstoff, chemisch inert. Diese außergewöhnliche chemische Inertheit kann das Korrosionsrisiko durch Prozessgase minimieren, die Lebensdauer erheblich verlängern und die Zeit und Kosten für den Geräteaustausch reduzieren.