Quarz-Wafer-Boote

Quarz-Wafer-Bootesind Präzisionsträger aus hochreinem Quarz, die zum Halten und Sichern dienenWaffeln. Sie sind unverzichtbare Schlüsselkomponenten in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung und bieten zuverlässige Garantie für eine hochpräzise und hocheffiziente Produktion.

Quarz-Wafer-Boote werden präzisionsgefertigt in spezifische Formen und Abmessungen, was zu einer hervorragenden Kompatibilität mit einer breiten Palette von Halbleiterprozessgeräten führt. Ihre präzise konstruierten Innenschlitze und ihr optimiertes Strukturdesign erfüllen die strengen Anforderungen von Wafer-Herstellungsprozessen an Kerbgenauigkeit, Parallelität und Rechtwinkligkeit und reduzieren effektiv das Risiko einer physischen Beschädigung der Wafer.

Das von Semicorex ausgewählte Quarzmaterial weist eine Reinheit von ≥99,995 % und einen extrem geringen Gehalt an Verunreinigungen auf, wodurch die strengen Reinheitsanforderungen entscheidender Prozesse im Halbleiterproduktionsablauf erfüllt und eine Waferkontamination wirksam verhindert werden kann.

Dieser hochreine Quarz weist herausragende Eigenschaften wie eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine hohe chemische Stabilität auf, die ihm die Anpassung an die komplexen Prozessanforderungen der Halbleiterfertigung ermöglichen. Es kann in Hochtemperaturumgebungen um 1200 °C stabil und langfristig betrieben werden und erfüllt die Anforderungen von Prozessen wie Halbleiterdiffusion, Oxidation, Glühen und Hochtemperaturdiffusion von Photovoltaikzellen und stellt sicher, dass Wafer oder Siliziumwafer während der Hochtemperaturverarbeitung nicht durch Verformung oder Schmelzen beschädigt werden.

Aufgrund seiner hohen chemischen Stabilität ist es unwahrscheinlich, dass es mit Gasen reagiert, die in Halbleiterprozessen verwendet werden, oder mit chemischen Reagenzien, die in der Photovoltaikproduktion verwendet werden. Außerdem setzt es keine Verunreinigungen frei, was einen hohen Reinheitsgrad in der Produktionsumgebung gewährleistet, die Produktreinheit garantiert und die Prozessstabilität gewährleistet.