Ofenrohre aus Quarzglas

VerschmolzenQuarzofenrohreSie bilden typischerweise zusammen mit den wesentlichen Komponenten wie Quarzschiffchen, Reaktoren, Heizgeräten und Quarzleitblechen den Hochtemperatur-Verarbeitungsbereich für Wafer. Während der Herstellung werden Wafer in Quarzschiffchen gelegt und für Prozesse wie Diffusion, Oxidation und Glühen in die Ofenrohre befördert. Als entscheidender Teil dieser Prozesse wirken sich Ofenrohre aus Quarzglas direkt auf die Qualität und den Ertrag von Halbleiter- oder Photovoltaikprodukten aus.

Aufgrund ihrer zuverlässigen Leistung und Qualität können die Quarzglasofenrohre von Semicorex der Betriebsumgebung dieser Prozesse über längere Zeiträume standhalten. Durch die Verwendung von Semicorex-Ofenrohren aus geschmolzenem Quarz kann das Risiko einer Beschädigung des Endprodukts durch starke Verformung oder Zusammenbruch der Quarzofenrohre nach längerem zyklischem Gebrauch erheblich verringert werden.

Die Vorteile von Semicorex-Ofenrohren aus Quarzglas

1. Hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit

Quarzglashat einen Erweichungspunkt von ca. 1730°C. Semicorex-Ofenrohre aus Quarzglas unterstützen den Langzeitbetrieb bei 1100 °C bis 1200 °C mit kurzfristiger Toleranz für noch höhere Temperaturen.

2. Bemerkenswerte thermische Stabilität

Quarzmaterial in Halbleiterqualität bietet einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der eine schnelle Abkühlung von hohen Temperaturen auf Raumtemperatur ohne Rissbildung oder Beschädigung ermöglicht.

3. Starke chemische Korrosionsbeständigkeit

Semicorex-Ofenrohre aus Quarzglas zeichnen sich durch eine starke chemische Korrosionsbeständigkeit aus. Mit Ausnahme von Flusssäure und heißer Phosphorsäure reagieren sie kaum mit anderen Chemikalien wie Säuren, Laugen und Salzen.

4. Hervorragende Lichtdurchlässigkeit

Hochreiner Quarz weist eine hervorragende Durchlässigkeit im gesamten ultravioletten bis infraroten Spektrum auf und erreicht eine Lichtdurchlässigkeit von über 93 % im sichtbaren Bereich. Diese herausragende optische Leistung macht Semicorex-Ofenrohre aus Quarzglas zur geeigneten Option für Prozesse, die eine optische Überwachung oder UV-Behandlung erfordern.

Die Anwendungen von Semicorex-Ofenrohren aus Quarzglas

1. Wird bei Diffusions-, Oxidations- und Glühprozessen in der Halbleiterherstellung verwendet

2. Wird im Hochtemperatur-Reaktionsgefäß in der Photovoltaik-Industrie verwendet

3. Wird bei der Herstellung von Spektrometerfenstern, Laserhülsen, optischen UV-Systemen und anderen optischen Anwendungen verwendet.