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CVD- und CVI-Vakuumofen
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CVD- und CVI-Vakuumofen

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von Produkten mit Siliziumkarbidbeschichtung in China. Wir bieten maßgeschneiderte Ofenlösungen. Unser CVD- und CVI-Vakuumofen hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der CVD- und CVI-Vakuumofen von Semicorex ist ein hochwertiges Werkzeug, das für chemische Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD) entwickelt wurde. Die Reaktionstemperaturen betragen bis zu 2200°C. Es ist in der Lage, ein breites Spektrum an Materialien abzuscheiden, darunter Siliziumkarbid, Bornitrid, Graphen und mehr. Der CVD-Ofen verfügt über ein robustes Design und ist aus hochwertigen Materialien gefertigt, was Zuverlässigkeit und Langlebigkeit für den Langzeiteinsatz gewährleistet. Es hat sowohl horizontale als auch vertikale Strukturen.


Anwendung:C/C-Verbundbremsscheibe, Tiegel, Form usw.


Merkmale der Semicorex CVD- und CVI-Vakuumöfen

1.Robustes Design aus hochwertigen Materialien für den Langzeitgebrauch;

2. Präzise kontrollierte Gaszufuhr durch den Einsatz von Massendurchflussreglern und hochwertigen Ventilen;

3. Ausgestattet mit Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz und Gasleckerkennung für sicheren und zuverlässigen Betrieb;

4.Verwendung mehrerer Temperaturkontrollzonen, große Temperaturgleichmäßigkeit;

5.Speziell entwickelte Abscheidungskammer mit guter Dichtwirkung und hervorragender Antikontaminationsleistung;

6.Verwendung mehrerer Abscheidungskanäle mit gleichmäßigem Gasfluss, ohne tote Ablagerungsecken und perfekter Ablagerungsoberfläche;

7.Es verfügt über eine Behandlung für Teer, festen Staub und organische Gase während des Ablagerungsprozesses


Optionale Funktionen:

â¢Ofentür: Schraub-/hydraulisch/manueller Hebetyp; Schwenköffnung/Parallelöffnung (groß).

Ofentür); manuelles Festziehen/automatisches Festziehen des Sicherungsrings

⢠Ofengefäß: komplett aus Kohlenstoffstahl/Innenschicht aus Edelstahl/vollständig aus Edelstahl

â¢Heißzone des Ofens: weicher Kohlenstofffilz/weicher Graphitfilz/steifer Verbundfilz/FCKW

â¢Heizelement und Muffel: isostatischer Pressgraphit/hochreiner, fester und dichter Graphit/feiner Graphit

⢠Prozessgassystem: Volumen-/Massendurchflussmesser

⢠Thermoelement: K-Typ/N-Typ/C-Typ/S-Typ


Spezifikationen des CVD-Ofens

Modell

Größe der Arbeitszone

(B × H × L) mm

Max. Temperatur (°C)

Temperatur

Gleichmäßigkeit (°C)

Ultimatives Vakuum (Pa)

Druckanstiegsrate (Pa/h)

LFH-6900-C

600×600×900

1500

±7,5

1-100

0.67

LFH-10015-C

1000×1000×1500

1500

±7,5

1-100

0.67

LFH-1220-C

1200×1200×2000

1500

±10

1-100

0.67

LFH-1530-C

1500×1500×3000

1500

±10

1-100

0.67

LFH-2535-C

2500×2000×3500

1500

±10

1-100

0.67

LFV-D3050-C

Ï300×500

1500

±5

1-100

0.67

LFV-D6080-C

Ï600×800

1500

±7,5

1-100

0.67

LFV-D8120-C

Ï800×1200

1500

±7,5

1-100

0.67

LFV-D11-C

Ï1100×2000

1500

±10

1-100

0.67

LFV-D26-C

Ï2600×3200

1500

±10

1-100

0.67

*Die oben genannten Parameter können an die Prozessanforderungen angepasst werden, sie gelten nicht als Akzeptanzstandard, sondern als Detailspezifikation. werden im technischen Angebot und in den Vereinbarungen angegeben.




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