CVD- und CVI-Vakuumofen

Semicorex ist ein großer Hersteller und Lieferant von Produkten mit Siliziumkarbidbeschichtung in China. Wir bieten maßgeschneiderte Ofenlösungen. Unser CVD- und CVI-Vakuumofen hat einen guten Preisvorteil und deckt viele europäische und amerikanische Märkte ab. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden.

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Produktbeschreibung

Der CVD- und CVI-Vakuumofen von Semicorex ist ein hochwertiges Werkzeug, das für chemische Gasphasenabscheidungsprozesse (CVD) entwickelt wurde. Die Reaktionstemperaturen betragen bis zu 2200°C. Es ist in der Lage, ein breites Spektrum an Materialien abzuscheiden, darunter Siliziumkarbid, Bornitrid, Graphen und mehr. Der CVD-Ofen verfügt über ein robustes Design und ist aus hochwertigen Materialien gefertigt, was Zuverlässigkeit und Langlebigkeit für den Langzeiteinsatz gewährleistet. Es hat sowohl horizontale als auch vertikale Strukturen.

Anwendung:C/C-Verbundbremsscheibe, Tiegel, Form usw.

Merkmale der Semicorex CVD- und CVI-Vakuumöfen

1.Robustes Design aus hochwertigen Materialien für den Langzeitgebrauch;

2. Präzise kontrollierte Gaszufuhr durch den Einsatz von Massendurchflussreglern und hochwertigen Ventilen;

3. Ausgestattet mit Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz und Gasleckerkennung für sicheren und zuverlässigen Betrieb;

4.Verwendung mehrerer Temperaturkontrollzonen, große Temperaturgleichmäßigkeit;

5.Speziell entwickelte Abscheidungskammer mit guter Dichtwirkung und hervorragender Antikontaminationsleistung;

6.Verwendung mehrerer Abscheidungskanäle mit gleichmäßigem Gasfluss, ohne tote Ablagerungsecken und perfekter Ablagerungsoberfläche;

7.Es verfügt über eine Behandlung für Teer, festen Staub und organische Gase während des Ablagerungsprozesses

Optionale Funktionen:

•Ofentür: Schraub-/hydraulisch/manueller Hebetyp; Schwenköffnung/parallele Öffnung (groß).

Ofentür); manuelles Festziehen/automatisches Festziehen des Sicherungsrings

• Ofengefäß: komplett aus Kohlenstoffstahl/Innenschicht aus Edelstahl/vollständig aus Edelstahl

•Heißzone des Ofens: weicher Kohlenstofffilz/weicher Graphitfilz/steifer Verbundfilz/CFC

•Heizelement und Muffel: isostatischer Pressgraphit/hochreiner, fester und dichter Graphit/feiner Graphit

• Prozessgassystem: Volumen-/Massendurchflussmesser

• Thermoelement: K-Typ/N-Typ/C-Typ/S-Typ

Spezifikationen des CVD-Ofens
Modell	Größe der Arbeitszone (B × H × L) mm	Max. Temperatur (°C)	Temperatur Gleichmäßigkeit (°C)	Ultimatives Vakuum (Pa)	Druckanstiegsrate (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Die oben genannten Parameter können an die Prozessanforderungen angepasst werden, sie gelten nicht als Akzeptanzstandard, sondern als Detailspezifikation. werden im technischen Angebot und in den Vereinbarungen angegeben.