15" Quarzglasglocke

Die 15-Zoll-Quarzglocke von Semicorex wurde entwickelt, um diese Herausforderungen zu meistern, und bietet eine Hochleistungslösung für die Chargenverarbeitung mittlerer bis großer Mengen, bei der thermische Gleichmäßigkeit und Materialreinheit für die Maximierung der Ausbeute von entscheidender Bedeutung sind. In der Halbleiter- und Dünnschichtindustrie ist die Integrität der Prozesskammer von größter Bedeutung. Mit zunehmender Wafergröße und schrumpfender Knoten wird die Anforderung einer sauberen, stabilen und chemisch inerten Umgebung nicht mehr verhandelbar.

1. Materialwissenschaft: Die Reinheit von Quarzglas

Die Grundlage unserer Glasglocke ist hochreinQuarzglas (Quarz). Im Gegensatz zu Standardglas besteht Quarz fast ausschließlich aus SiO2 und bietet einzigartige Eigenschaften, die für die Halbleiterherstellung von entscheidender Bedeutung sind:

Extrem geringe Kontamination: Unser Quarz wird so verarbeitet, dass metallische Spurenelemente (wie Al, Fe, Na und K) auf das Niveau von Teilen pro Milliarde (ppb) minimiert werden. Dies verhindert die Diffusion von Verunreinigungen in den Wafer während Hochtemperaturzyklen und gewährleistet so die elektrische Integrität der Geräte.

Überragende Temperaturwechselbeständigkeit: Quarz besitzt einen Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE) von nahezu Null. Dadurch kann die 15-Zoll-Quarzglocke schnellen Temperaturanstiegen und Abschreckungen standhalten, ohne dass die Gefahr von Brüchen oder struktureller Ermüdung besteht – eine entscheidende Anforderung für Reaktoren mit hohem Durchsatz.

Ausgezeichnete chemische Inertheit: Quarz ist äußerst beständig gegenüber den meisten Säuren (mit Ausnahme von Flusssäure) und korrosiven Prozessgasen und stellt sicher, dass die Kammer während aggressiver Ätz- oder Abscheidungszyklen nicht beschädigt wird oder ausgast.

2. Präzisionstechnik und optische Klarheit

Die 15-Zoll-Quarzglocke bietet maximales Volumen und optimale Gasströmungsdynamik für die Batch-Wafer-Verarbeitung. Das Glas verfügt über einen vertikalen Kamin (auch als Hals bezeichnet), der optimal dafür ausgelegt ist, einen Gaseinlass bereitzustellen oder die Gasabsaugung durch ein Vakuum aus dem Glas zu unterstützen, wie im Bild oben dargestellt.

Optische Transparenz – Die hohe Transmission vonQuarzmaterialDie Emission von Wellenlängen im ultravioletten, sichtbaren und infraroten Bereich des Spektrums ermöglicht eine Echtzeitverarbeitung sowie die Verwendung externer Lampenheizungen für eine schnelle thermische Verarbeitung (RTP).

Verstärkte Dichtungsflächen – Der Hals des Gefäßes verfügt über eine speziell entwickelte undurchsichtige weiße Dichtung (auch als Schliffverbindung bezeichnet), die eine hermetische (luftdichte) und vakuumdichte Schnittstelle zwischen der Reaktorgrundplatte und dem Gefäß bietet.

Glühen zum Stressabbau – Alle 15-Zoll-Quarzglockengläser werden einem strengen thermischen Glühprozess unterzogen, um interne mechanische Spannungen abzubauen, die durch den mechanischen Prozess des Blasens oder Formens des Glases auf das Glas ausgeübt wurden, wodurch die Wahrscheinlichkeit, dass ein Glas spontan versagt, wenn es einer Vakuumbelastung ausgesetzt wird, erheblich verringert wird.

3. Kritische Anwendungen in der Halbleiterfabrik

Unsere 15-Zoll-Quarzglocke wurde speziell für die Integration in die folgenden hochwertigen Prozesse entwickelt:

Siliziumepitaxie: Bereitstellung eines transparenten, nicht reaktiven Gefäßes zum Züchten hochwertiger einkristalliner Siliziumschichten.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Widersteht der korrosiven Plasmaumgebung und behält gleichzeitig eine hohe Durchschlagsfestigkeit bei.

Diffusion und Oxidation: Dient als saubere Hochtemperaturkammer für die Bildung von Gate-Oxiden und das Eintreiben von Dotierstoffen.

Herstellung von Vorformlingen für optische Fasern: Ideal für die hochreine Abscheidung von Siliziumdioxidschichten bei der Herstellung von Spezialglas.

Bei Semicorex behandeln wir jede Glasglocke wie ein Präzisionslaborgerät. Unser Prozess umfasst: Strikte Materialbeschaffung mit verifizierter elektronischer QualitätQuarzBarren; fortschrittliche Fertigung, die traditionelle Glasbläserfähigkeiten mit CNC-gesteuertem Schleifen und Polieren verbindet; und gründliche Inspektion mit polarisiertem Licht zur Erkennung von Restspannungen und Laserinterferometrie für präzise Maßkontrollen.