Zirkonoxid-ZrO2-Roboterarm

Der Semicorex Zirconia ZrO2-Roboterarm ist eine wichtige Komponente in der Halbleiterverarbeitung für den nahtlosen Transfer und die Handhabung von Wafern. Dieser Keramikarm wurde entwickelt, um den strengen Anforderungen von Hochtemperatur-, Korrosions- und Schleifumgebungen standzuhalten, und zeichnet sich durch beispiellose Haltbarkeit und Zuverlässigkeit aus.

Der Semicorex Zirconia ZrO2-Roboterarm wird sorgfältig aus hochreinen Keramikrohstoffen gefertigt. Durch einen Prozess aus kaltisostatischem Pressen, Hochtemperatursintern und Präzisionsbearbeitung erreichen wir eine Maßgenauigkeit von bis zu ±0,001 mm und eine Oberflächenglätte von bis zu Ra0,1. Mit einer maximalen Betriebstemperatur von 1600 °C gedeiht es in Hochtemperatur-, Vakuum- und korrosiven Gasumgebungen und ist daher in verschiedenen Halbleiterproduktionsanlagen unverzichtbar.

Durch den Einsatz einer einzigartigen Keramikbindungstechnik weist unser hohler Zirkonoxid-ZrO2-Roboterarm eine bemerkenswerte thermische Stabilität auf, wobei die Betriebstemperatur nach dem Kleben bis zu 800 °C erreicht. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Leistung und Langlebigkeit in anspruchsvollen Industrieumgebungen.

Unser Materialsortiment umfasst Optionen wie Aluminiumoxid, Zirkonoxid, Siliziumkarbid und antistatische Keramikmaterialien und bietet Vielseitigkeit für unterschiedliche Anwendungsanforderungen.

Vertrauen Sie auf die Zuverlässigkeit, Präzision und Belastbarkeit unseres Zirkonoxid-ZrO2-Roboterarms für nahtlose Halbleiterverarbeitungsvorgänge und bieten Sie unübertroffene Leistung in den anspruchsvollsten Umgebungen.