Die Semicorex-Halbleiter-Graphitheizung ist ein hocheffizientes Heizgerät aus hochwertigem isostatischem Graphit. Es wird häufig in den Kernprozessverbindungen der Halbleiterfertigung eingesetzt, beispielsweise im thermischen Bereich von Kristallwachstumsöfen, epitaktischen Wachstumsprozessen, Ionenimplantationsgeräten, Plasmaätzgeräten und der Herstellung von Sinterformen für Halbleiterbauelemente.
HalbleiterGraphitheizungist ein fortschrittliches Heizgerät aus hochreinem isostatischem Graphitmaterial. Seine hervorragende elektrische Leitfähigkeit und Wärmeleitfähigkeit gewährleistet eine präzise Temperaturkontrolle und gleichmäßige Wärmeverteilung für das Wachstum und die Verarbeitung von Halbleitermaterialien. Wenn der elektrische Strom durch die Heizung fließt, überwindet er den inneren elektrischen Widerstand des Graphits, wandelt elektrische Energie in Wärme um, erhöht die Graphittemperatur und sorgt für eine Erwärmung. Eine präzise Temperaturregelung kann typischerweise durch Anpassen der elektrischen Stromstärke und des Heizwiderstands erreicht werden.
Semicorex's sorgfältig ausgewählte hochreine Produkteisostatischer Graphitweist eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit auf und ermöglicht so eine schnelle und gleichmäßige Wärmeübertragung in jede Ecke des Heizbereichs, wodurch eine lokale Überhitzung wirksam verhindert wird.
Bemerkenswert ist, dass hochreiner isostatischer Graphit selbst dann stabile physikalische und chemische Eigenschaften beibehält, wenn er extrem hohen Temperaturbedingungen wie der Lichtbogenablation bei ultrahohen Temperaturen ausgesetzt wird. Starke Hitze würde normalerweise dazu führen, dass Materialien schmelzen, sich verformen oder oxidieren, aber diese Art von Graphit ist in der Lage, diesen Veränderungen zu widerstehen. Dadurch eignet es sich gut für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterproduktion, einschließlich des Einkristall-Siliziumziehens und des Siliziumkarbid-Kristallwachstums.
Halbleiter-Graphitheizer zeichnen sich durch Energieeffizienz aus. Es erfordert kein Vorheizen, erreicht die eingestellte Temperatur schnell und erzielt im Vergleich zu herkömmlichen Heizgeräten erhebliche Energieeinsparungen. Seine hohe thermische Umwandlungseffizienz reduziert effektiv den Energieverbrauch und sorgt für Energieeinsparung und Verbrauchsreduzierung. Im Betrieb entstehen keine Schadstoffe oder Abgase und werden somit den Umweltanforderungen gerecht.
Darüber hinaus zeichnet sich die Halbleiter-Graphitheizung durch eine lange Lebensdauer aus. Hochreiner isostatischer Graphit verleiht ihnen eine überragende mechanische Festigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit und ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit. Sie sind weniger anfällig gegenüber Faktoren wie hohen Temperaturen und chemischer Korrosion, was eine längere Lebensdauer ermöglicht.