Quarztiegel in Halbleiterqualität

Semicorex-HalbleiterqualitätQuarztiegelwerden im Lichtbogenschmelzverfahren hergestellt. Ihre dreischichtige Verbundstruktur besteht aus der inneren hochreinen transparenten Schicht, der Zwischenübergangsschicht und der äußeren Blasenverbundschicht. Diese Schichten wirken synergetisch, um eine überlegene mechanische Festigkeit, eine optimierte Wärmemanagementleistung und Kosteneffizienz zu schaffen.

Die Vorteile von Quarztiegeln in Halbleiterqualität

1. Hohe Reinheit:

Semiconductorex-Quarztiegel in Halbleiterqualität verfügen über eine beispiellose ultrahohe Reinheit, wobei der Gehalt an Verunreinigungen (z. B. Al, Fe, Ca, Mg) streng auf ppm- oder sogar ppb-Ebene kontrolliert wird. Durch diese Reinheitskontrolle wird eine Verunreinigung durch Verunreinigungen während des monokristallinen Siliziumwachstumsprozesses effektiv vermieden und so die elektrische Leistung und Ausbeute von Halbleiter-Siliziumwafern von der Quelle an sichergestellt.

2. Ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit

Semicorex-HalbleiterqualitätQuarzTiegel können kontinuierlich in einer Hochtemperaturumgebung von 1100 °C verwendet werden und halten kurzfristig hohen Temperaturen von 1450 °C stand. Dank dieser Eigenschaft können Semicorex-Quarztiegel in Halbleiterqualität die Hochtemperaturanforderungen der Halbleiterfertigung vollständig erfüllen und Fehler beim Kristallziehen, die durch Verformung oder Erweichung bei hohen Temperaturen verursacht werden, weitgehend vermeiden.

3. Außergewöhnliche thermische Stabilität

Semicorex-Quarztiegel in Halbleiterqualität haben einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der es ihnen ermöglicht, die strukturelle Stabilität während des schnellen Erhitzens oder Abkühlens aufrechtzuerhalten und Risse oder Verformungen aufgrund thermischer Spannungen zu minimieren. Darüber hinaus können Semicorex-Quarztiegel in Halbleiterqualität aufgrund ihrer hervorragenden Wärmeleitfähigkeit dazu beitragen, eine gleichmäßige und stabile Temperaturfeldverteilung zu erreichen und so die Qualität und Konsistenz monokristalliner Siliziumstäbe zu verbessern.

4. Geringer Blasengehalt in der inneren Schicht

Die innere transparente Schicht der Semicorex-Quarztiegel in Halbleiterqualität kann durch strenge Kontrolle eine extrem niedrige Blasendichte erreichen. Dies kann die Beeinträchtigung des Wachstums von monokristallinem Silicium durch Blasenausdehnung und -platzen während des Betriebs minimieren und dadurch die Defektrate monokristalliner Siliciumstäbe verringern.