Starre Isolierung

Die starre Semikorex-Isolierung wurde speziell für den sic-epitaxialen Prozess mit einzigartiger Montagestruktur, hoher Widerstand, Funkenprävention und guter thermischer Isolationsleistung ausgelegt. Die starren Isolierung ist eine thermische Hochleistungs-Thermisbarriere aus Premium-kurzen Keramikfasern. Dieses in eine harten Filzstruktur entwickelte Starr -Isolationsmaterial kombiniert eine hervorragende mechanische Festigkeit mit überlegenen thermischen Isolationseigenschaften, wodurch es ideal für die anspruchsvollen Bedingungen in der Herstellung von Halbleitern.

Semiconductor-Grade-Silizium- und Siliziumkarbid müssen normalerweise in einer Hochtemperaturumgebung unter Verwendung spezifischer Instrumente wie einkristaler Silizium-Ziehöfen und Siliziumcarbid-Einzelkristallwachstumszahlen hergestellt werden, und es gibt strengere Anforderungen an die Zubereitungsumgebung. Zum Beispiel die Aufrechterhaltung der Vorbereitungstemperatur und die Verringerung der Interferenz für externe Verunreinigungen. Aus diesem Grund entstand eine thermische Isolierung aus hoher Puritätskohlefaser gewebt, und mit ihren Vorteilen des einfachen Formens, nicht leicht zu brechen, stark zu brechen, wurde sie vor der Geburt von Halbleitern zu einer wahren "warmen Kleidung" zu einer wahren "warmen Kleidung".

Unter Verwendung von Kohlefaserfilz und viskosenbasiertem Kohlefaserfilz als Rohstoffe wird die starre Isolierung durch Prozesse wie Einweichen, Bindung, Aushärtung, Wärmebehandlung und Bearbeitung hergestellt. Es wird häufig in Hochtemperaturgeräten wie Industrieöfen von Pulvermetallurgie, Vakuumsinteröfen, Photovoltaik-Einkristallöfen, polykristallinen Öfen und Halbleiterkristallwachstumsöfen verwendet. Es hat einen guten Druckwiderstand und eine hervorragende Thermo -Isolationsleistung. Im Vergleich zu weichem Filz hat starre Isolierung die Vorteile einer einfachen Installation, einer stabilen Größe, einer niedrigen Wärmeisolierung und einer langen Lebensdauer.