Semicorex Starres Graphitfilz ist ein leistungsstarkes thermisches Isolationsmaterial aus Kohlefaser auf Pan-Basis und viskosenbasierten, das in Industrieöfen mit hohen Temperaturen häufig verwendet wird. Wählen Sie Semicorex für seine fortschrittlichen Herstellungsprozesse und nachgewiesene Fachkenntnisse bei der Bereitstellung dauerhafter und zuverlässiger Lösungen für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen.*
Starres Graphitfilz kann durch eine weiche Laminierung ausgehärtet und nass geformt werden. Die gemeinsame Laminierungsmethode zur Herstellung von Kohlefaser -Graphit -Hartfilz verwendet ein weiches Filz als Rohstoff. Der Produktionsprozess beginnt mit dem Schneiden: Schneiden Sie mehrere Blätterstücke, die etwas größer sind als die endgültige harte Filzgröße aus dem weichen Filz. Nach dem Schneiden wird es mit Harz und anderen Verbindungsmaterialien imprägniert, und die imprägnierten Rohlinge sind in mehreren Schichten entsprechend der erforderlichen harten Filzdicke gestapelt.
Die Imprägnierung in der weichen Filzproduktion ist hauptsächlich die Imprägnierung mit Katalysatoren, um Viskosefasern bei der anschließenden Wärmebehandlung stabiler zu machen. Während die Imprägnierung von starrem Graphitfilm hauptsächlich die Imprägnierung mit Thermosettungsharz ist. Im nachfolgenden Heiz- und Aushärtungsprozess verfestigt sich das flüssige Harz, und die mehrere Schichten aus weichem Filz werden dicht mit dem Harz kombiniert, um sich zu bilden.
Harz + Kohlefaser -Graphit -Weichfilz ermöglicht das Material, den Effekt von "1 + 1> 2" in einigen Eigenschaften zu erreichen. Nach dem Erhitzen und Härten kann das mit Harz imprägnierte mehrschichtige weiche Filz nicht mehr wie ein weiches Filz gerollt werden, und die Dichte und die Druckfestigkeit des Materials werden ebenfalls erhöht.
Während des PVT -Wachstums von Einzelkristallen spielt Kohlefaserfilme eine Rolle bei der Wärmeerhaltung. Die Reinheit des starren Graphitfilms ist entscheidend für das erfolgreiche Wachstum von SiC -Kristallen. Verunreinigungen in der Isolierung sind eine der Quellen für Verunreinigungsquellen während des Wachstumsprozesses. Der Gehalt an wichtigen Verunreinigungselementen im Kohlefaserfilm wird unter 10-6 kontrolliert, und der Gesamtaschegehalt muss streng gesteuert werden. Nach dem Patent werden verschiedene Multi-Stufe-Behandlungsmethoden mit hoher Temperaturen angewendet, wobei mehrere Gaszirkulationsschritte in jeder Stufe verwendet werden, um hochempfindliche Point-Verunreinigungen in niedrigem MelTing-Punkt-Verbindungen umzuwandeln und Verunreinigungsgase zu entladigen, und schließlich eine hohe Puritätsfaserfest, deren ASH-Gehalt weniger als 20 mg · kg und ärb und ärb, b.
Das starre Graphit -Filz hat auch Schlüsseltechnologien für die Einheitlichkeit des Durchflussfeldes, einschließlich der Temperaturfeld- und Gasdurchflussfeldgleichheitskontrolle. Das Temperaturfeld ist im Einzelkristallofen uniformisiert, indem Temperaturkompensationsbereiche, unabhängige Temperaturregelung mit mehreren Zonen und die Form und das Layout der Heizung geändert werden.