PECVD-Solargraphitboot

SemicorexPECVD-Solargraphitbootesind präzisionsgefertigt aus hochreinem Materialisostatischer Graphit. Jedes PECVD-Solargraphitboot von Semicorex wird einer präzisen Bearbeitung, Maßprüfung und elektrischen Leistungstests unterzogen, um eine stabile Leistung in Hochtemperatur-Plasmaumgebungen sicherzustellen.

Während der PECVD-Bearbeitung transportiert das PECVD-Solargraphitboot Siliziumwafer in die PECVD-Reaktionskammer und dient als Elektrode, die an die HF-Stromversorgung angeschlossen ist. Wenn zwischen benachbarten Bootsplatten eine Wechselspannung angelegt wird, entsteht ein elektrisches Feld. Unter dem Einfluss des elektrischen Feldes unterliegen die reaktiven Gase (wie Silan SiH₄ und Ammoniak NH₃) einer Glimmentladung und erzeugen Plasma. Ionen und freie Radikale im Plasma zersetzen die Vorläufergase und bilden Silizium- (Si) und Stickstoff- (N) Ionen. Diese Ionen verbinden sich zu Siliziumnitrid (Si₃N₄)-Molekülen, die dann auf der Oberfläche des Siliziumwafers abgeschieden werden, um dünne Filme zu bilden.

1. Außergewöhnliche thermische Stabilität

Mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, der dem von Siliziumwafern nahe kommt, bietet SemicorxPECVD-Solargraphitbooterfährt beim Erhitzen eine vernachlässigbare Dimensionsänderung, wodurch eine durch thermische Belastung verursachte Beschädigung der Wafer zuverlässig vermieden wird.

2. Hervorragende elektrische und thermische Leitfähigkeit

Semicorex PECVD-Solargraphitboote verfügen über eine ausgezeichnete elektrische Leitfähigkeit und gewährleisten eine schnelle Leitung des HF-Stroms und eine gleichmäßige elektrische Feldverteilung, was für eine stabile Plasmaerzeugung und eine gleichmäßige Siliziumwaferabscheidung von Vorteil ist. Darüber hinaus erleichtert seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit ein schnelles Abkühlen und Erhitzen, verbessert die Produktionseffizienz und verhindert gleichzeitig, dass lokale Überhitzung die Abscheidungsqualität beeinträchtigt.

3. Starke chemische Stabilität

Dank der Verwendung von hochwertigem Material ist das PECVD-Solargraphitboot von Semicorex weniger anfällig für Reaktionen mit reaktiven Gasen und Plasma. Diese Eigenschaft verhindert deutlich eine ungleichmäßige Verteilung des elektrischen Feldes, die durch Korrosion, Verformung oder Ablagerung von Verunreinigungen im Graphitschiffchen verursacht wird, und gewährleistet so die Stabilität des Abscheidungsprozesses und die Oberflächenqualität von Siliziumwafern.

4. Hervorragende mechanische Festigkeit

Mit seiner hervorragenden mechanischen Festigkeit kann das Semicorex PECVD-Solargraphitboot das Gewicht großvolumiger Waferladungen problemlos bewältigen. Sie halten den mechanischen Belastungen beim Verladen und Transport lange stand, ohne sich leicht zu verformen oder zu brechen.

5. Hervorragende Dimensionskonsistenz

Das PECVD-Solargraphitboot von Semicorex erreicht durch Präzisionsbearbeitung eine außergewöhnliche Maßgenauigkeit aller Komponenten. Es hält den Siliziumwafer während der Abscheidung in einer festen Position, was eine gleichmäßige Abscheidung und Kompatibilität mit der automatisierten Produktion gewährleistet.