PBN -Verbundheizungen

Semicorex PBN -Verbundheizungen verschmelzen die hervorragende thermische Leitfähigkeit von pyrolytischem Graphit mit der chemischen Inertheit und elektrischen Isolierung von pyrolytischem Bornitrid. Diese Heizungen werden aus einem sehr hohen Reinheit -Graphit und PBN gebaut, das unter Verwendung eines hochwertigen CVD -Verfahrens (Chemical Dampor Deposition) unter hohen Reinigungsablagerungsbedingungen angewendet wird. Jede individuelle Errungenschaftsschicht wurde mit einer sehr extremen Kontrollierbarkeit abgelagert, um eine ultrahohe Reinheit und konsistente thermische Eigenschaften zu gewährleisten. Der Graphitkern, der durchgehend eine schnelle und gleichmäßige Erwärmung liefert, ist durch die PBN -Kapsel vor Oxidation und Kontamination geschützt. Dies macht die Heizung ideal für Vakuumgasumgebungen und inerte Gasumgebungen. Diese PBN -Heizungen sind absichtlich für die Verwendung in MBE -Reaktoren, CVD -Reaktoren und anderen Kristallwachstumssystemen ausgelegt.

Der pyrolytische Bornitrid-pyrolytische Graphit (PBN-PG) -Komposit-Heizung ist ein Heizungsheizung, der PBN mit hoher Inselierung als Substrat verwendet und thermische Zersetzungen mit niedriger Druck (unter 10 Tonnen) und Hochtemperaturen, um das leitende PG zu beschichten, die chemische Dampfabscheidung (CVD) verwendet. Die Hauptkomponenten dieser Verbundheizung sind pyrolytische Bornitrid (PBN) und pyrolytische Graphit (PG). Aufgrund seiner hervorragenden Korrosionsbeständigkeit und hohen Temperaturwiderstand wird es hauptsächlich für die Heizung des Halbleitersubstrats (in MBE, MOCVD, Sputterbeschichtung usw. verwendet) verwendet. Superkonferenzsubstraterwärmung; Probenerwärmung während der Probenanalyse; Elektronenmikroskop -Probenerwärmung; Metallheizung; Metallverdampfungsheizungsquelle usw.

Die PBN -Heizgeräte können den Betriebstemperaturen von bis zu 1600 ° C im Vakuum standhalten und eine verbesserte Fähigkeit haben, thermischen Schock über Alternativen auf Metallbasis zu widerstehen, auf die Sie sich verlassen würden. Die Oberfläche der Heizung ist extrem glatt und dicht und erzeugt während des Betriebs erheblich weniger Partikel, was für Anwendungen von entscheidender Bedeutung ist, bei denen Kontaminationen nicht toleriert werden können, wie z. B. Halbleiter -Wafer -Verarbeitung.

Die Verbundstruktur bietet eine hervorragende thermische Gleichmäßigkeit über der Heizungsoberfläche, und ihre Widerstandswege können angepasst werden, um eine maßgeschneiderte Wärmeverteilung zu ermöglichen. Dieses Design ermöglicht schnelle Zyklen und Abklingzyklen während der Verarbeitung, ohne dass die gleichen thermischen Expansionskoeffizienten der verwendeten Materialien gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten sind. Die Elektroden können kontinuierlich hohen Strombetrieb standhalten und sind auch im Vakuum kompatibel.

Semicorex bietet unbegrenzte Designflexibilität für einzigartige Formen, Größen und Leistungsanforderungen bei Bedarf, um die spezifischen Anwendungsbedürfnisse zu erfüllen. Egal, ob es sich um Standard -Wafergrößen oder komplexere Geometrien handelt, wir garantieren die dimensionale Genauigkeit und die thermische Gleichmäßigkeit in jeder produzierten Einheit.

PBN-Verbundheizgeräte eignen sich perfekt für ultra-verankerte Anwendungen, einschließlich:

• MBE-Systeme für die III-V- und II-VI-Verbindungs-Halbleiterverarbeitung
• Vakuumbeschichtungssysteme für optische Komponenten
• Kristallwachstumssysteme für Saphir und SIC
• Thermische Verarbeitung mit hoher Purity für Forschungs- und Entwicklungslaborumgebungen.