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Was ist ein MOCVD-System?

2023-04-06

MOCVD, bekannt als metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD), ist eine Technik zum Aufwachsen dünner Halbleiterfilme auf einem Substrat. Mit MOCVD können viele Nanoschichten mit großer Präzision und jeweils mit kontrollierter Dicke abgeschieden werden, um Materialien mit spezifischen optischen und elektrischen Eigenschaften zu bilden.

Ein MOCVD-System ist eine Art chemisches Dampfabscheidungssystem (CVD), das metallorganische Vorläufer verwendet, um dünne Materialfilme auf einem Substrat abzuscheiden. Das System besteht aus einem Reaktorbehälter, einem Gaszufuhrsystem, einem Substrathalter und einem Temperaturkontrollsystem. Die metallorganischen Vorläufer werden zusammen mit einem Trägergas in das Reaktorgefäß eingeführt, und die Temperatur wird sorgfältig kontrolliert, um das Wachstum eines qualitativ hochwertigen Dünnfilms sicherzustellen.



Die Verwendung von MOCVD hat mehrere Vorteile gegenüber anderen Abscheidungstechniken. Ein Vorteil besteht darin, dass es die Abscheidung komplexer Materialien mit präziser Kontrolle über die Dicke und Zusammensetzung der Dünnschichten ermöglicht. Dies ist besonders wichtig für die Herstellung von Hochleistungs-Halbleiterbauelementen, bei denen die Materialeigenschaften der Dünnschichten einen erheblichen Einfluss auf die Leistung des Bauelements haben können.

Ein weiterer Vorteil von MOCVD besteht darin, dass es verwendet werden kann, um Dünnfilme auf einer Vielzahl von Substraten abzuscheiden, einschließlich Silizium, Saphir und Galliumarsenid. Diese Flexibilität macht es zu einem wesentlichen Prozess bei der Herstellung einer Vielzahl von Halbleitergeräten, von Computerchips bis hin zu LEDs.



MOCVD-Systeme sind in der Halbleiterindustrie weit verbreitet und haben maßgeblich zur Entwicklung vieler fortschrittlicher Technologien beigetragen. Beispielsweise wurde MOCVD verwendet, um hocheffiziente LEDs für Beleuchtungs- und Anzeigeanwendungen sowie Hochleistungssolarzellen für Photovoltaikanwendungen herzustellen.