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MOCVD ist die Schlüsselausrüstung

2023-05-18

MOCVD-Ausrüstung ist die Schlüsselausrüstung im Produktionsprozess der Halbleiterindustrie, macht aber auch einen großen Teil der Ausrüstungsinvestitionen in der Halbleiterindustriekette (drei Kernprozesse und Ausrüstung: Lithographie, Ätzen, Dünnschichtabscheidung), LED-Produktionslinieninvestitionen und MOCVD aus Der Investitionsbetrag kann bis zu 50 % betragen. Bei CVD-Geräten kann das Substrat nicht direkt auf dem Metall oder einfach auf einer Basis zur epitaktischen Abscheidung platziert werden, da dies den Einfluss verschiedener Faktoren wie der Gasströmungsrichtung (horizontal, vertikal), Temperatur, Druck und Fixierung mit sich bringt , Schadstoffe abgeben. Dazu wird eine Basis verwendet und das Substrat auf einer Scheibe platziert. Anschließend wird mithilfe der CVD-Technologie eine epitaktische Abscheidung auf dem Substrat durchgeführt. Diese Basis ist der SiC-beschichtete GraphitSuszeptor(was auch als a bezeichnet werden kannTräger), und seine Struktur ist in der folgenden Abbildung dargestellt.