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Was sind Cantilever-Paddel?

2023-09-08

Bei der Verarbeitung von Halbleiterwafern werden spezielle Öfen zum Erhitzen der Wafer verwendet. Diese Öfen enthalten langgestreckte zylindrische Röhren, in denen die Wafer an vorbestimmten und äquidistanten Positionen auf Waferschiffchen platziert werden. Um sicherzustellen, dass die Verarbeitungsausrüstung die Wafer nicht verschwendet und den Verarbeitungsbedingungen in der Kammer standhält, werden Waferboote und andere bei der Waferverarbeitung verwendete Geräte aus Materialien wie Siliziumkarbid (SiC) hergestellt.


Die Waferboote, beladen mit einer Charge zu verarbeitender Wafer, werden auf langen, freitragenden Paddeln positioniert. Diese Paddel können in die Rohröfen und Reaktoren eingesetzt und daraus entnommen werden. Die Paddel bestehen aus einem abgeflachten Trägerabschnitt, der ein oder mehrere Boote aufnehmen kann, und einem langen Griff an einem Ende des abgeflachten Trägerabschnitts zur einfachen Handhabung.


Für die besten Komponenten in der Halbleiterverarbeitung empfiehlt sich die Verwendung eines Cantilever-Paddels aus rekristallisiertem Siliziumkarbid mit einer CVD-SiC-Dünnschicht. Dieses Material ist von hoher Reinheit und die beste Wahl für solche Komponenten.



Semicorex fertigt maßgeschneiderte Cantilever-Paddel mit hochwertiger CVD-SiC-Beschichtung. Wenn Sie Fragen haben oder zusätzliche Informationen benötigen, zögern Sie bitte nicht, mit uns Kontakt aufzunehmen.


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