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TaC-Beschichtung

2023-08-07

TaC-Keramik hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3880 °C, eine hohe Härte (Mohs-Härte 9–10) und eine hohe Wärmeleitfähigkeit (22 W·m).-1·K−1), große Biegefestigkeit (340-400 MPa) und kleiner Wärmeausdehnungskoeffizient (6,6×10-6K-1) und weisen eine ausgezeichnete thermochemische Stabilität und hervorragende physikalische Eigenschaften auf, sodass TaC-Beschichtungen häufig im Wärmeschutz in der Luft- und Raumfahrt eingesetzt werden und Graphit- und C/C-Verbundwerkstoffe eine gute chemische und mechanische Verträglichkeit aufweisen. ) und weisen eine ausgezeichnete thermochemische Stabilität und hervorragende physikalische Eigenschaften auf, und Graphit- und C/C-Verbundwerkstoffe weisen eine gute chemische und mechanische Kompatibilität auf, sodass TaC-Beschichtungen häufig in den Bereichen Wärmeschutz in der Luft- und Raumfahrt, Einkristallwachstum, Energie und Elektronik sowie medizinische Geräte eingesetzt werden. usw. TaC-beschichteter Graphit hat eine bessere chemische Beständigkeit als blanker Graphit oder SiC-beschichteter Graphit und kann stabil bei einer hohen Temperatur von 2600 °C verwendet werden. 2600 ° Hochtemperaturstabilität, und viele Metallelemente reagieren nicht, ist die dritte Generation von Halbleiter-Einkristallwachstums- und Wafer-Ätzszenarien mit der besten Leistung der Beschichtung, kann den Prozess der Temperatur- und Verunreinigungskontrolle sowie die Vorbereitung von Hochtemperaturen erheblich verbessern Hochwertige Siliziumkarbid-Wafer und zugehörige Epitaxie-Wafer. Es eignet sich besonders für MOCVD-Geräte zum Züchten von GaN- oder AlN-Einkristallen und PVT-Geräte zum Züchten von SiC-Einkristallen, und die Qualität der gezüchteten Einkristalle wird deutlich verbessert.

 

Den Forschungsergebnissen zufolgeDie TaC-Beschichtung kann als Schutz- und Isolationsschicht dienen, um die Lebensdauer von Graphitkomponenten zu verlängern, die radiale Temperaturgleichmäßigkeit zu verbessern, die SiC-Sublimationsstöchiometrie aufrechtzuerhalten, die Migration von Verunreinigungen zu unterdrücken und den Energieverbrauch zu senken. Letztlich soll ein TaC-beschichteter Graphittiegelsatz die SiC-PVT-Prozesskontrolle und die Produktqualität verbessern.