Was ist die aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid?

Die aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid ist ein fortschrittliches Führungssystem, das die Materialeigenschaften von Siliziumkarbid und der aerostatischen Technologie kombiniert. Als optimale Lösung für hochpräzise, ​​hochzuverlässige und langfristige Bewegungssysteme werden aerostatische Gleitbahnen aus Siliziumkarbid häufig in Bereichen wie modernster Fertigung und wissenschaftlichen Forschungsinstrumenten eingesetzt.

Aus materialtechnischer Sicht weist Hochleistungs-Siliziumkarbid eine außergewöhnliche Stabilität auf und verfügt über eine Reihe fantastischer inhärenter Eigenschaften. Zu diesen Eigenschaften gehören insbesondere hohe Steifigkeit, hohe chemische Stabilität, extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient, ausgezeichnete Verschleißfestigkeit sowie hervorragende Korrosionsbeständigkeit, was es zu einem bevorzugten Material für eine Vielzahl von Anwendungen in hochmodernen Fertigungsbereichen macht. Die aus hochreinem Siliziumkarbid gefertigte aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid verfügt von Natur aus über die oben genannten Materialvorteile und ermöglicht einen stabilen Betrieb auch unter komplexen und rauen Betriebsbedingungen.

Hinsichtlich seiner Struktur nimmt die aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid eine berührungslose Struktur an. Durch die Nutzung des gashybriden hydrostatischen und hydrodynamischen Effekts erreicht die aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid eine gleichmäßige Bewegung ohne Reibung und Vibration. Nach der Präzisionsbearbeitung weist es außergewöhnliche Geradheits- und Ebenheitsspezifikationen auf. In Kombination mit der berührungslosen Funktionsweise führt diese Präzision zu einem äußerst niedrigen Reibungskoeffizienten, der das Risiko eines mechanischen Verschleißes wirksam minimiert. Um den hochpräzisen Betrieb der Anlage langfristig aufrechtzuerhalten, ist die aerostatische Gleitbahn aus Siliziumkarbid mit einem Gitterskalen-Rückkopplungssystem ausgestattet, um eine hochpräzise Verschiebungspositionierung sicherzustellen. Diese ausgeklügelten Konstruktionen verlängern die Lebensdauer der aerostatischen Gleitbahn aus Siliziumkarbid erheblich und senken die Kosten für die Gerätewartung erheblich.

Anwendungsszenarien der aerostatischen Gleitbahn aus Siliziumkarbid

1. Halbleiterfertigung: Wird bei der Wafer-Stufenpositionierung für Fotolithografiemaschinen, Koordinatenmessgeräte, Panel-Inspektionsgeräte, optische Verarbeitungsgeräte und Batterieproduktionsgeräte verwendet.

2. Präzisionsmessung: Wird in Koordinatenmessgeräten und Positionsdrehtischen verwendet.

3. Andere High-End-Fertigungsanwendungen: Es wird in Simulationsplattformen für die Luft- und Raumfahrt, Präzisionsinstrumenten für die Automobilindustrie, Laserbearbeitungsgeräten und Biochip-Manipulatoren verwendet.

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