Graphitheizung für heiße Zone

Semicorex-Graphitheizer für die Heißzone wurden für den zuverlässigen Betrieb in Hochtemperaturöfen entwickelt und sind so konstruiert, dass sie den anspruchsvollen Bedingungen standhalten, die bei Prozessen wie chemischer Gasphasenabscheidung (CVD), Epitaxie und Hochtemperaturglühen auftreten. Wir bei Semicorex widmen uns der Herstellung und Lieferung leistungsstarker Graphitheizgeräte für Heißzonen, die Qualität mit Kosteneffizienz verbinden.**

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Produktbeschreibung

Homogene Temperaturverteilung:Der Graphitheizer für die Heißzone ist bekannt für seine gleichmäßigen Heizeigenschaften, die durch eine Kombination aus sorgfältiger Materialverarbeitung und Präzisionsbearbeitung erreicht werden. Diese Homogenität sorgt für ein gleichmäßiges Temperaturprofil über die gesamte Heizfläche und minimiert Wärmegradienten, die zu ungleichmäßiger Waferverarbeitung, verringerter Ausbeute und inkonsistenter Geräteleistung führen können.

Außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit:Der Graphitheizer für die Heißzone weist eine bemerkenswerte Beständigkeit gegenüber einer Vielzahl korrosiver Gase und Chemikalien auf, die häufig bei der Hochtemperatur-Halbleiterverarbeitung auftreten. Diese inhärente Trägheit gewährleistet eine langfristige Stabilität und Leistung des Heizgeräts, minimiert das Kontaminationsrisiko und verlängert die Betriebslebensdauer.

Überlegene Oxidationsbeständigkeit:Im Gegensatz zu herkömmlichem Graphit bietet der Graphitheizer für heiße Zonen eine überlegene Oxidationsbeständigkeit, selbst bei erhöhten Temperaturen. Diese Eigenschaft ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Integrität der Heizung und die Verhinderung der Bildung von Partikelverunreinigungen in der Verarbeitungskammer.

Ultrahohe chemische Reinheit:Der Graphitheizer für die Heißzone wird so verarbeitet, dass ein ultrahoher Reinheitsgrad erreicht wird, wodurch das Risiko der Einführung unerwünschter Verunreinigungen in die Halbleiterverarbeitungsumgebung minimiert wird. Diese außergewöhnliche Reinheit ist für die Aufrechterhaltung der Integrität empfindlicher Halbleitermaterialien und die Gewährleistung der gewünschten elektrischen und optischen Eigenschaften der hergestellten Geräte von entscheidender Bedeutung.

Hohe mechanische Festigkeit und Stabilität:Der Graphitheizer für die Heißzone verfügt über eine hervorragende mechanische Festigkeit und Dimensionsstabilität bei erhöhten Temperaturen und ermöglicht die Herstellung robuster Heizerkomponenten, die den Strapazen des Hochtemperaturbetriebs, einschließlich Temperaturwechsel und mechanischer Beanspruchung, standhalten.