Graphit Chuck

Semicorex Graphit Chuck stammt ausSpezialgraphit, anerkannt für seinen hervorragenden thermischen und chemischen Widerstand. Ein einzigartiges Beispiel für ein solches Graphit -Chuck, das speziell aus dieser Form von Graphit ausgestattet wurde, da es für seine sehr hohe Resistenz gegen Chemikalien und Wärme bekannt ist. Dies macht das Chicks sehr lang anhaltend und sie werden unter den schwierigsten Bedingungen bei chemischen Dampfablagerung (CVD) oder Plasma-Ätzen oder sogar in einem Hochtemperaturofen abschneiden. Aus diesem Grund würde eine hohe Reinheit mit sehr niedrigen Verunreinigungen bereits bedeuten, dass sie bei der Herstellung von Polysilicium keine Kontamination verursachen würden. Sie sind in der Lage, Temperaturen weit über 2000 ° C ohne bemerkenswerte Verformung zu transportieren, da sie durch erhöhte Temperatur sehr stabil sind. Darüber hinaus haben sie auch eine überlegene Resistenz gegen die meisten Chemikalien und überleben daher unter sehr schwierigen Bedingungen, wie bei Salzsäure (HCl) oder Siliziumtetrachlorid (SICL4). Eine hohe mechanische Stärke bedeutet noch, dass das Chuck in der Lage ist, seine Form auch bei einer kontinuierlichen Belastung zu behalten.

Graphit Chuck ist entscheidend für die Waferverarbeitung und das Wachstum von Kristallen; Sie spielen in jeder Phase eine primäre Rolle in der gesamten Herstellung, wie z. Während des Schneidens und Polierens bieten sie eine stabile Unterstützung für das Schneiden und die Oberflächenverarbeitung. In der thermischen Verarbeitung fungieren sie als hitzebeständige Basis für Silizium-Wafer-Glüh- und Dopingprozesse, was die Effizienz und Qualität der Produktionslinie erheblich verbessert.

Wie gewährleisten wir die Einheitlichkeit der Leistung unseresGraphit?

Erstens Carbonisierung. Unser Ofen hat nur 115 Kubikmeter. Unser technisches Team testet das Temperaturfeld von Graphitprodukten in verschiedenen Bereichen jedes Ofens. Im Niedertemperaturzustand (0-200 °), wenn die Temperatur zunimmt, werden wir sie bei etwa ± 10 ° kontrollieren, und im Hochtemperaturzustand (über 600 °) werden wir es bei ± 1 ° kontrollieren. Wir testen nicht nur das Temperaturfeld zwischen verschiedenen Graphiten, sondern auch die Oberfläche und die Innentemperatur jedes Stücks Graphitmaterial und steuern es bei ± 3 °. Wir testen 8 Temperaturpunkte in jedem Ofen im Karbonisierungsofen.

Der zweite ist Graphitization. Wenn wir als Beispiel 500 kg einnehmen, werden wir auch 8 Temperaturpunkte testen. Die Proben werden zufällig an jeder Position des graphitisierten Produkts auf zerstörerische Tests inspiziert. Nach der Zerstörung werden 24 Punkte getestet. Tests werden getrennt von der XYZ -Achse durchgeführt, um ihre Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die meisten Unternehmen in der Branche werden die X -Achse oder höchstens die XY -Achse testen.

Allgemeine Hersteller testen nur 6-8 Punkte und die besseren Testen von 12 Punkten, während wir 24 Punkte testen.

Semicorex Graphit Chuck ist eine unverzichtbare Lösung für polysilicium-Hersteller, die leistungsstarke, zuverlässige und kostengünstige Werkzeuge suchen. Mit fortschrittlichen Materialeigenschaften und Präzisionstechnik verbessert unser Produkt die Effizienz und Qualität der Produktion von Siliziumwafer in der Sonnenindustrie. Für weitere Informationen oder benutzerdefinierte Spezifikationen kontaktieren Sie uns noch heute.