Dreiteilige Graphittiegel

Der Graphittiegel wird üblicherweise auf der zentralen Stützplattform des Singkristallofens platziert und zwischen der Graphitheizung und dem Quarztiegel aus Einkristall positioniertSiliziumWachstumsprozess. Sie können den Quarztiegel und die geschmolzenen Siliziummaterialien stabil halten und während dieses Prozesses gleichmäßig Wärme zum Quarztiegel leiten, um Polysilizium zu erhitzen und zu schmelzen.

Vorteile der dreiteiligen Graphittiegel von Semicorex

1. Hochwertige Materialauswahl und Materialeigenschaften

Semicorex verwendet das hochreine Graphitmaterial zur Herstellung unserer dreiteiligen Graphittiegel. Diese hochwertige Rohstoffauswahl verleiht Tiegeln eine hervorragende Gesamtleistung, die wie folgt aufgeführt ist.

A. Ultrahohe Sauberkeit

Eine Verunreinigung durch Verunreinigungen stellt eine kritische Gefahr dar, die die Gitterstruktur von Siliziumkristallen während der Herstellung beeinträchtigt. Die Verwendung von hochreinen Graphitmaterialien in Halbleiterqualität kann das Kontaminationsrisiko minimieren, das durch die Ausfällung von Verunreinigungen aus dreiteiligen Graphittiegeln beim Wachstum von einkristallinem Silizium verursacht wird.

B.Überlegene Wärmemanagementfähigkeit

Die thermische Beständigkeit der dreiteiligen Graphittiegel von Semicorex ermöglicht eine stabile Leistung bei hohen Temperaturen und bietet eine solide Unterstützung für das Wachstum von einkristallinem Silizium. Mit ihrer bemerkenswerten Wärmeleitfähigkeit können die dreiteiligen Graphittiegel von Semicorex ein effizientes und gleichmäßiges Schmelzen von Polysilizium erreichen.

C. Zuverlässige chemische Stabilität

Dank ihrer stabilen chemischen Eigenschaften können die dreiteiligen Graphittiegel von Semicorex der Korrosion während des Einkristallwachstums wirksam widerstehen und unerwünschte Kontaminationen durch Reaktionsnebenprodukte verhindern. Semicorex bietet seinen Kunden auch TaC- und SiC-Beschichtungsoptionen an, wodurch Tiegel für stark korrosive Betriebsbedingungen geeignet sind.

2. Geniales Strukturdesign und Präzisionsbearbeitung

Semicorex dreiteiligGraphittiegelsind in drei Segmenten aufgebaut und mit speziellen Teilen verbunden. Dieses Design bietet im Vergleich zu herkömmlichen einteiligen Graphittiegeln herausragende Stärken:

A.Die dreiblättrige geteilte Struktur der Tiegel beseitigt die Unannehmlichkeiten bei der Materialhandhabung herkömmlicher einteiliger Graphittiegel und verkürzt die Betriebszeit erheblich.

B.Dreiteilige Graphittiegel unterstützen den Austausch einzelner Teile, wodurch die Wartungs- und Austauschkosten für Benutzer effektiv gesenkt werden.

C.Die dreiblättrige Spaltstruktur von Tiegeln kann durch Temperaturschwankungen verursachte thermische Spannungen abbauen, um strukturelle Beeinträchtigungen zu vermeiden und so das Rissrisiko erheblich zu reduzieren.