Quarz-Innenofenrohre

Innere Ofenrohre aus Semicorex-Quarz werden üblicherweise innerhalb der äußeren Ofenrohre in Prozessofensystemen positioniert und dienen dazu, die äußere Umgebung vom Wafer-Verarbeitungsbereich zu isolieren, die Wärmeverteilung innerhalb des Ofens auszugleichen und eine geschichtete Gasströmungsführung sowie einen schnellen Prozessgasaustausch zu ermöglichen. Semicorex-Quarz-Innenofenrohre wurden entwickelt, um Prozessprobleme wie ungleichmäßige Waferdotierung, Abweichungen bei der Dünnschichtabscheidung und schlechte Oxidationskonsistenz aufgrund ungleichmäßiger Gasströmung, übermäßiger Temperaturunterschiede und ungeordneter Ofenatmosphäre zu lösen und erfüllen perfekt die strengen Prozessanforderungen der Präzisionswaferverarbeitung.

Warum Semicorex wählen?

1. Fertigungsvorteile

Semicorex-Quarz-Innenofenrohre sind präzise gefertigtQuarz auf Halbleiterebenedurch eine Reihe von Bearbeitungen, darunter Hochtemperatur-Spannungsarmglühen, präzises Integralrohrziehen, genaue Kalibrierung der Rohrabmessungen, gleichmäßiges Wandschleifen, Passivierung und Polieren der Rohrenden sowie staubfreie Reinigung. Unsere Quarz-Innenofenrohre zeichnen sich durch folgende herausragende Eigenschaften aus:

• Präzise Bauteilabmessungen

• Enge Toleranzkontrolle

• Gleichmäßige Wandstärke

• Reibungslose und nahtlose Integration

• Frei von Blasen, Graten und inneren Spannungen

• Freie Gasströmungsstruktur

• Extrem geringe Partikelbelastung

• Flexible kundenspezifische Option

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2. Materialleistungsstärken

Hergestellt aus hochreinen Rohstoffen, SemicorexQuarz-Innenofenrohremehrere hervorragende Immobilienleistungen erbringen, die im Folgenden aufgeführt sind:

• Ultrahohe Materialreinheit—— Vermeidung unerwünschter metallischer Verunreinigungen.

• Hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen—— Vollständige Erfüllung der Anforderungen des Wärmebehandlungsprozesses.

• Zuverlässige thermische Stabilität—— geeignet für kontinuierliche Heiz- und Kühlzyklen.

• Robuste Korrosionsbeständigkeit—— beständig gegen chemische Korrosion, Plasmabeschuss und Prozessgaserosion.

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Hauptanwendungen

Semicorex-Quarz-Innenofenrohre eignen sich gut für die Massenproduktion von Halbleiterwafern mit hohem Standard und werden häufig in vertikalen oder horizontalen Diffusionsöfen, Hochtemperatur-Oxidationsöfen, Vakuumglühöfen, LPCVD-Abscheidungsöfen und Geräten zur thermischen Behandlung von Halbleiterrohren eingesetzt.

Häufig gestellte Fragen

1. Welche Betriebsszenarien sollte dieses Produkt vermeiden?

Vermeiden Sie längeres Eintauchen in Hochtemperatur-HF, heiße CPA-Korrosion, starke Stöße, Biegen und Quetschen.

2. Wie pflegt und reinigt man dieses Produkt?

Es ist strengstens verboten, die Rohrwand mit harten Reinigungswerkzeugen abzukratzen oder zu schleifen. Vor der Installation und Wiederverwendung bitte gründlich mit der hochreinen Lösung, gemischt mit hochreinem Wafer, reinigen.

3. Wie erhalte ich die maßgeschneiderte Fertigungslösung?

Senden Sie uns Ihre detaillierte Zeichnung, Materialanforderungen und Betriebsbedingungen an die E-Mail-Adresse auf unserer Website.